Патенты с меткой «совмещаемости»

Номер патента: 819856

Опубликовано: 07.04.1981

Авторы: Богатов, Борщев, Спалек, Черепков

МПК: H01L 21/00

Метки: совмещаемости, фотошаблона

...стробоскопирования.На чертеже схематично представлено устройство для реализации предлагаемого способа контроля совмещаемости изображе- Б ний фотошаблонов.Устройство состоит из диска 1 с закрепленными на нем фотошаблонами 2, экрана 3, оптического канала, Состоящего из импульсного осветителя 4, коллиматора 5, объектива 6, системы синхронизации, состоя 10 щей из осветителя 4, датчика 7, фотоэлектрического датчика 8 и блока синхронизации 9.Пример. На диске 1 закрепля.от любое количество фотошаблонов 2, предварительно совместив их по реперным знакам 10, с базовыми метками 11 на экране 3, Затем диск 1 приводят во вращательное движение. В момент введения фотошаблона 2 в оптический канал (4, 5, 6) при совпадении реперных знаков 10 фотошаблона 2...