Патенты с меткой «совмешения»

Номер патента: 853707

Опубликовано: 07.08.1981

Автор: Черный

МПК: H01L 21/308

Метки: маски, совмешения, сподложкой

...из маски 1 с рабочими отверстиями 2 и выступами 3, на торце которых укреплены базовые элементы 4, выполненные в виде гибких пластин, края которых симметрично выступают по обе стороны торца выступов, подложки 5 с канавками 6,Структура маски может быть получена, например, если известными методами гальванопластики сформировать на поверхности маски базовые элементы из тонкого слоя металла, обладающего маскирующими свойствами при травлении материала маски и протравить ее на глубину, равную тре - буемой высоте выступов, вследствие чего края базовых элементов будут выступать эа пределы торца выступов на величину бокового подтравливания материала маски под базовыми элементами. При этом для масок, изготавливаемых, например, из медной илиО...