Патенты с меткой «рутениевых»

Номер патента: 298703

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Блно, Гсо, Ермолаев, Петухов, Стрижова, Сысоев, Цыганаш

МПК: C23C 16/16

Метки: покрытий, рутениевых

...вакууме, в части получения рутениевых поедмет изобретения ых покрытий террбонилгалоидногоикайся тем, что, осаждения, в каединения испольбонилйодид рутепри температуре ууме 0,5 10-т -миче соед с цел честв зуют ния подл 10 -пособ получения рутениевых пок ическим разложением карбонилг единений рутения,Предложенный способ отличается от известного тем, что в качестве карбонилгалоидно Ого соединения используют циклопентадиенилдикарбонилйодид рутения. Это позволяет повысить скорость осаждения покрытий.По предложенному способу процесс осуществляют в вакуме 0,5 10 т - 10 -мм рт. ст. 15в парах циклопентадиенилдикарбонилйодидарутения при температуре покрываемой детали450 в 5 С,После нанесения покрытия деталь выводятиз зоны паров и выдерживают при...