Патенты с меткой «решоток-матриц»

Способ изготовления дифракционных решоток-матриц для копирования реплик

Загрузка...

Номер патента: 561923

Опубликовано: 15.06.1977

Авторы: Стрежнев, Хайбуллин, Штырков

МПК: G02B 5/18

Метки: дифракционных, копирования, реплик, решоток-матриц

...в производстве решеток, слой алюминия не оксидируется. Однако подслой - титан, полученный термическим испарением в 30 бретения является увеличениешетки,561923 Составитель В. ВанторинТехред 3. Тараненко Редактор С. Хейфиц Корректор А. Степанова Заказ 1613/2 Изд. Ме 55 Тираж 633 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская паб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, в Это достигается тем, что по предлагаемому способу упрочнение производят путем бомбардировки поверхности решетки ионами кислорода с энергией, превышающей 1 кэВ.Дифракционные решетки-матрицы по описываемому способу изготавливают следующим образом,На полированную поверхность подложки решетки из...