Патенты с меткой «разряде»

Номер патента: 1706235

Опубликовано: 27.06.1999

Авторы: Барвинок, Богданович, Журавлев, Козлов, Малкин, Плотников, Хомов

МПК: C23C 14/34

Метки: диэлектрических, подложек, разряде, тлеющем

Устройство для обработки диэлектрических подложек в тлеющем разряде, содержащее рабочую камеру, подложкодержатель, нагреватель-катод и источник питания нагревателя-катода, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и расширения функциональных возможностей, катод выполнен в виде гирлянды из нескольких подвижных трубок, электрически соединенных между собой с возможностью изменения конфигурации по форме обрабатываемой подложки.

Номер патента: 533113

Опубликовано: 10.05.2006

Авторы: Данилов, Метлов, Морозов, Пионтковский, Покидышев, Поляков, Силицкий, Соколов

МПК: C23C 8/36

Метки: азотирования, ионного, металлических, процесса, разряде, тлеющем

1. Устройство для регулирования процесса ионного азотирования металлических деталей в тлеющем разряде, содержащее емкость с газом, вакуумную камеру, подсоединенную к указанной емкости трубопроводом с установленным в нем редуктором давления, вакуумный насос, электропневматические краны, сигнализатор давления и регуляторы температуры и напряжения, отличающееся тем, что, с целью обеспечения автоматического регулирования процесса одновременно по давлению и температуре, в трубопроводе между емкостью с газом и вакуумной камерой установлен электромеханический натекатель, электрически соединенный с сигнализатором давления и регулятором температуры через программирующее устройство. 2....