Патенты с меткой «поверхностиполупроводниковых»

Номер патента: 843029

Опубликовано: 30.06.1981

Авторы: Бобряков, Кавецкий, Коваленко, Матяш

МПК: H01L 21/46

Метки: пластин, поверхностиполупроводниковых

...достигается тем, что устройство для очистки поверхности полупроводниковых пластин, содержащее расположенные на основании ротор с валом, связанным с приводным механизмом, планшайбу с держателями пластин, диск с канавками, выполненЯУ 843030 КытЬег ой радея : 4 Ргеч.оыя босцгпеп 1 : БУ 843029 Ва 1 сЬ : И 0112308 Юане: 03/05/2001 Кех 1 босцпен : 50 843031ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 241279 (21) 2851902/18-25 3)М. Ка.Н 01 Ь 31 6 01 К 7/ с присоединением заявки Йо Государственный комит СССР по делам изобретений и открытийДата опубликования описания 300681,И. Сукацкас, С.И. Гечяускас, А,А. Алексеюнас, С.А. Балейшис и В.М. Бондаренко Ордена Трудового Красного...