Патенты с меткой «пленкеалюминия»

Номер патента: 834805

Опубликовано: 30.05.1981

Автор: Яровой

МПК: H01L 21/302

Метки: пленкеалюминия, рисунка

...напыление алюминия на подложку,фотолитографию и сухое травлениепленки, после вакуумного напыленияалюминия на его поверхность наносятв одном технологическом цикле защитный слой металла с коэффициентомраспыления более высоким, чем у алюминия, например, железо. Достижение поставленной цели становится возможным в результате того, что напыление защитного металла на поверхность алюминия в одном технологическом цикле, т.е. в вакууме, защищает алюминий от окисления, а то, что коэффициент распыления металла защитного слоя выше, чем у алюминия, повышает производительность 4 ри дальнейшем травлении, позволяет использовать тонкие слои фоторезиста при фотолитографии, т.е. повысйть разрешение, а также делает процесс травления более равномерным.е...