Патенты с меткой «окисно-металлического»

Номер патента: 250406

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Вайнштейн, Жуковска, Тюшевский

МПК: C03C 17/34

Метки: окисно-металлического, патентно1, повышения, покрытиявсесоюзная1, электропроводности

...бескислородного, непроводящего соединения, например нитрида кремния.Электронная и ионная бомбардировка, которой подвергается поверхность окисно-металлического покрытия, помещенного в плазму тлеющего разряда (анодный столб), приводит к быстрому и эффективному удалению связанных атомов кислорода и к существенному повышению электропроводности покрытия. Температура подложки, на которую нанесено покрытие, в процессе обработки может быть снижена путем простого отвода тепла.Операция обработки покрытия в анодном столбе тлеющего разряда может быть совмещена с катодным распылением на его поверхность неорганического, бескислородного, не- проводящего соединения, например нитрида кремния, которое закроет доступ кислороду к поверхности...