Патенты с меткой «оинов»

Номер патента: 619049

Опубликовано: 15.09.1979

Автор: Калыгин

МПК: H01J 3/04

Метки: источник, оинов

...3 и Формирующего электрода АО. Давление газа поддерживается таким, что длина свободного пробега ионов меньше радиуса электрода ( Л(гэ), а длина свободного пробега электронов - примерно равна ему (Л -ГЭ) . При 2 ГЭ =50-5 мм оно составйт 0,1-1 торр.Источник ионов работает следующим образом.После подачи вспомогательного газа и прогрева корпуса ионизатора3 подают напряжение на Формирующийэлектрод 4, При этом поток электронов от ионизатора 3 через сеткуэлектрода образует внутри этогоэлектрода область виртуального катодас отрицательным потенциалом относительно него, по величине близкимк потенциалу ионизатсра 3, РазмерыЬбласти виртуального катода определяются ф"законом степени 3/2 длятока электронов в вакууме, Послеэтого из испарителя...