Патенты с меткой «обна-ружения»

Оптико-телевизионная система для обна-ружения дефектов фотошаблонов

Загрузка...

Номер патента: 847014

Опубликовано: 15.07.1981

Авторы: Астратов, Волхонский, Воробьев, Дулеев, Ликарпенков, Молчанов, Никитина, Руковчук

МПК: G01B 9/04

Метки: дефектов, обна-ружения, оптико-телевизионная, фотошаблонов

...совмещать н себе некоторые функции управляющей вычислительной машины. В этом случае детектор 13 дефектов дополнительно соединен двумя входами с выходами датчиков 5 и 6 линейных перемещений фотошаблона 4 по двум координатам, а двумя выходами со входами механизмов 2 и 3 ориентации контролируемого фотошаблона 4.Оптико-телевизионная система работает следующим образом.перед началом контроля контролируемый Фотошаблон 4 ориентируют таким образом, чтобы образующие егоэлементов были параллельны линии, соединяющей оптические оси блока суммирования оптических изображений модулей контролируемого Фотошаблона 4, а регулировкой расстояния между оптическими центрами его нходных эрачков добиваются полного совмещения контролируемых участков, что...