Патенты с меткой «микропримесейв»

Номер патента: 813240

Опубликовано: 15.03.1981

Автор: Козлов

МПК: G01N 27/62

Метки: концентрации, масс-спектрометрический, микропримесейв, образцах, способопределения, твердых

...ионами аргона) будетнаблюдаться зависимость величины потока Й вторичных ионов определяемого элемента от времени распыления (фиг. 1) .Если образец распыляется равномерно, т.е. скорость распылениян йбЬ А=К -- - собес,(А - число атомов в единице объема исследуемого образца, к - коэффициент его распыления), то толщина Й распыленного слоя .и время с, ушедшее на его распыление, связаны соотношениемНеаЦ, -АВ интервале (О=с ) (чертеж),в те чение которого будет распыляться легированный объем образца, для потока Й(с) вторичных ионов, образующихся из внедренных атомов, справедливо соотношенией(с)=сйп(с) (2), где п(с) - относительная концентрация атомов., внедренных в некоторый тонкий слой 5 дй, на распыление которого уходит время с. Если в...