Патенты с меткой «микропотенциалов»

Номер патента: 1582226

Опубликовано: 30.07.1990

Автор: Рыбалко

МПК: H01J 37/26

Метки: микропотенциалов, поверхностных

...1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов),который предварительно фокусируетсяконденсорным блоком 2 и сканируетсяотклоняющей системой 3 по поверхностиобъектодержателя 4. При этом с по-.мощью фокусирующей линзы 5 потокфокусируется в зонд в плоскости . 45объектодержателя 4, Поток вторичноэмиссионного сигнала, генерируемыйв образце, установленном на объектодержателе А, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраиваетсяна любой участок энергетическогоспектра вторичных частиц, Далее облу 0 = К где У ощую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа...