Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1582226
Автор: Рыбалко
Текст
СОВЕГСНИЛИСТИЧЕСНБЛИН ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР И 9) 111)(57) Изобретени зондовой техник зовано в электр тут электронно носитс икро и может бытнной микроск Цель изобретен тельности конт 8)ельство СССР37/26,10.04.74- повышениля. Устройс жит зондоформ ющую систе(71) Иосковский инстго машиностроения(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОВЕРНОСТНЫХ ИИКРОПОТЕНЦИАЛОВ исполь пии.чувствит о содер- состоя1582226 экранирующей диафрагмы 8. Анализатор 6 и система 7 регчстрации расположены соосно с зондоформирующей систе. - 5мой, при этом анализатор 6 и система 7 регистрации расположены между конденсорным блоком 2 и Формирующей линзой 5, 2 ил,Изобретение относится к микрозондовой технике и может быть использо вано в микроскопии (например, электронной).15Цель изобретения - повышение чувствительности контроля.На Фиг.1 изображен вариант устройства с расположением Формирующей линзы перед плоскостью объектодержателя; 20на фиг,2 - вариант устройства с расположением формирующей линзы за плоскостью объектодержателя,Устройство содержит эондоформирующую систему, состоящую из источника1 зондирующих частиц, конденсорногоблока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4,формирующей линзы 5 и анализатора6 вторичного потока электронов типа"цилиндрическое зеркало", выполненного из немагнитного материала с злектропроводящим поверхностным слоем,системы 7 регистрации сигнала и экранирующей,циафрагмы 8,35Устройство работает следующим образом.Источник 1 генерирует поток зондирующих частиц (например, электронов),который предварительно фокусируетсяконденсорным блоком 2 и сканируетсяотклоняющей системой 3 по поверхностиобъектодержателя 4. При этом с по-.мощью фокусирующей линзы 5 потокфокусируется в зонд в плоскости . 45объектодержателя 4, Поток вторичноэмиссионного сигнала, генерируемыйв образце, установленном на объектодержателе А, поступает на вход анализатора 6. Анализатор настраиваетсяна любой участок энергетическогоспектра вторичных частиц, Далее облу 0 = К где У ощую из источника 1 зондирующих частиц, конденсорного блока 2, электростатической отклоняющей системы 3, объектодержателя 4 и формирующей линзы 5, анализатора 6 вторичного потока электронов типа "цилиндрическое11зеркало, системы 7 регистрации,чают контролируемый участок, регистрируют сигнал на выходе системы 7регистрации и регулируют потенциаланализатора 6 до того момента, когда сигнал достигнет первоначальногозначения. Тогда определяют величинупотенциала контролируемого участкапо формуле1 ПО П 9известный потенциал первоначального облученногоучастка;величина изменения фокусирующего потенциала анализатора при его регулировке вовремя зондирования контролируемого участка. Формула изобретения Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов, содержащее последовательно расположенные зондоФормирующую систему, включающую источник зондирующих частиц, конденсорный блок, формирующую линзу и объектодержатель, анализатор вторичного потока электронов, систему регистрации, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с. целью. повышечя чувствительности контроля, анализатор вторичного потока электронов и система регистрации расположены соосно с зондоформирукицей системой, при этом анализатор и система регистрации расположены между конденсорным блоком и формирующей линзой, анализатор вторичного потока электронов выполнен в виде цилиндрического зеркала, а регистратор - в виде коллектора электронов.1582226 Составитель Е,СотниченкоТехред Л.Сердюкова Корректор С,Черни Редактор А.Ревин Заказ 209 Тираж 403 Подписное ВЮИПИ Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101
СмотретьЗаявка
3873745, 26.03.1985
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: микропотенциалов, поверхностных
Опубликовано: 30.07.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1582226-ustrojjstvo-dlya-kontrolya-poverkhnostnykh-mikropotencialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для контроля поверхностных микропотенциалов</a>
Предыдущий патент: Элемент арматуры газоразрядных и вакуумных электронных приборов
Следующий патент: Анод для газоразрядной лампы
Случайный патент: Устройство для автоматической регулировки усиления импульсных сигналов