Патенты с меткой «литографиии»

Номер патента: 824345

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Дубинин, Маневич, Никитина

МПК: H01L 21/31

Метки: литографиии, рентгеновской, шаблон

...использование другого материала, имеющего коэффициент термического расширения, равный коэффициенту терми" ческого расширения пластины, на которой проводится литография сиспользованием шаблона), закреплена по периметру шаблона к металлической 60 решетке 4. В ячейках решетки 4 расположена полимерная мембрана 2, расчлененная решеткой 4 на отдельные зоны, по сути самостоятельные мембраны. В тело мембраны заподли-цо утоплен маскирующий рисунок 3 шаблона.Пример реализации способа изготовления шаблона для рентгеновской литографии.На полированную стеклянную подложку методом вакуумного напыления наносят слой алюминия толщиной 0,2- 0,3 мкм.Поток слоя алюминия типовой Фотолитографией формируют маску из фоторезиста .и электролитическим...