Патенты с меткой «ионноплазменного»

Стекло для ионноплазменного напыления тонких пленок на ферритовые подложки

Загрузка...

Номер патента: 1828455

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Максимов, Соловьева

МПК: C03C 3/07, C03C 8/24

Метки: ионноплазменного, напыления, пленок, подложки, стекло, тонких, ферритовые

...0,1 - 0,3 мкм в рабочем зазоре шириной 0,3 мкм на участке его длины в 100 мкм,Стекло синтезируется при температуре 1300 С в платиновом тигле, Обладает хорошими варочными свойствами. Отлитые из него диски - мишени содержат незначительное количество пузырьков, однородны, не растрескиваются при их распылении. Стекло химически устойчиво, обладает высокой адгезией к ферриту и напыляемой на него пленке Я 02. Температура спаивания ферритовых элементов посредством напыленной пленки этого стекла, не превышает 720 С,Кроме того, достигается существенное повышение однородности, Как видно из таблицы, полости (пузырьки) в зазоре совершенно отсутствуют, чего нельзя сказать в отношении прототипа. Исследование пленки под микроскопом показалотакже...