Патенты с меткой «галлий-гадолиниевого»

Номер патента: 927863

Опубликовано: 15.05.1982

Авторы: Макарова, Николаев, Парамонов, Яремчук

МПК: C30B 33/00

Метки: галлий-гадолиниевого, граната, подложек, полировки, химической

...приповерхностной вязкой пленке за счет постоянного подвода свежей порции раствора, обеспечить тем самым лучшие условия диффузии продуктов травления и обеспечить воспроизводимость результатов.Применение для быстрого охлаждения орто.или пирофосфорной кислот при 70 - 100 С позволяет облегчить отмывку подложек от продуктов травления при одновременной ликвидации термоудара; применение температуры ниоЗО же 70 С не всегда компенсирует термоудар - подложки имеют тенденцию к растрескиванию, при температуре выше 100 С может наблюдаться растравливание дефектов.Использование частоты вибратора в пределах 20-200 Гц обусловлено тем, что при более низких пределах вязкая пленка не разрушается, а более высокие пределы не оказывают влияния на...