Патенты с меткой «фторфосфиновых»

Номер патента: 893859

Опубликовано: 30.12.1981

Авторы: Домрачев, Климов, Кушлянский, Легасов, Лобоцкий, Настюха, Хорошев

МПК: C01B 25/10

Метки: металлов, соединений, фторфосфиновых

...наб., д.4/5 Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4 совместную конденсацию паров металла и фторфосфина на охлаждаемой жидким азотом поверхности с последующим разогревом конденсата и выделением продукта,испарение металла осуществляют катодным распылением.5Применение катодного распыления позволяет поддерживать температуру металла 100-150 С и осуществлять его испарение со скоростью 20-40 мг/ч см.Способ осуществляется следующим образом.Синтез ведут в вакуумной камере, содержащей анод и полый катод, выполненный иэ металла, входящего в состав продукта. Камера снабжена так же охлаждаемой жидким азотом поверх ностью для конденсации паров металла и Фторфосфина. Через полый катод в Камеру поступает инертный газ (Аг, Кг, Хе), причем...