Патенты с меткой «энергомасс»
Способ калибровки энергетической шкалы энергомасс анализатора вторичных ионов
Номер патента: 1292071
Опубликовано: 23.02.1987
Авторы: Коваль, Литвинов, Физгеер
МПК: G01N 27/62, H01J 49/26
Метки: анализатора, вторичных, ионов, калибровки, шкалы, энергетической, энергомасс
...наблюдалось при различных температурах мишени и при различных парциальных давлениях химически активных газов в камере мишени (т.е. при различном физико-химическом состоянии поверхности).На чертеже приведены пронормированные по максимуму интенсивности энергетические спектрометры некоторых вторичных ионов, выбитых с поверхности различных материалов, и энергетический спектр термоионов калия.Энергетические спектры ионов К эмитируемых при нагревании различных.мишеней, и вторичных ионов Аг, выбитых из этих мишений, практически совпадают, хотя и не полностью идентичны (спектр; термоинов симметричен относительно положения макс,спектр вторичных ионов аргона имеет"хвост" в область больших энергий,что указывает на более сложный механизм...