Патенты с меткой «электронолитографии»

Номер патента: 604228

Опубликовано: 23.06.1981

Авторы: Басихин, Мартынова

МПК: B05D 1/38

Метки: электронолитографии

...резиста электроннымлучом ( д = 0,1 мкм) проводят в раст.ровом электронном микроскопе. В результате облучения электронным лучомоблученные участки пленки полимеризуютсяИзображение, полученное впленке, проявляют с использованиемметода вакуумного реиспарения, длячего облученную пленку помещают ввакуум с разрежением до 510 ммрт,ст. и нагревают при 160-400 С.(температура зависит от типа вещества) в течение 10 мин. В результатенеоблученные участки вещества удаляются,Чувствительность синтезированныхпрепаратов составляет 10 -10 Кл/сги зависит как от типа радикала В,так и от молекулярного веса силсесквиоксанов,Было выцелено наиболее чувствительное к действию электронного облучения вещество - октавинилсилсесквиоксан общей...

Номер патента: 938339

Опубликовано: 23.06.1982

Автор: Марголин

МПК: H01L 21/312

Метки: электронолитографии

...сложность подведения потенциала Р случае изготовления больших интегральных схем БИС) и необходимость работы только с проводящей подложкой. 0Цель изобретения - повышение разрешающей способности и производительности процесса.Поставленная цель достигается тем, что в способе электронолитографии, включающем нанесение на подложку слоя негативного электронорезиста, его сушку, экспонирование, проявление и задубливание, задубливание проводят путем облучения электронорезиста пучком электронов или рентгеновским излучением дозой энергии О=О- С 4, где С - доза энергии, обеспечивающая полную полимеризациюэлектронорезиста;С- доза энергии, которои провом 35дят экспонирование электронорезиста.При использовании данного способа появляется возможность...