Патенты с меткой «электроннного»

Номер патента: 672670

Опубликовано: 05.07.1979

Авторы: Капличный, Рау, Спивак

МПК: H01J 37/26

Метки: коллектор-анализатор, микроскопа, растрового, электроннного

...исследуемого объекта 4, например полупро 10 водникового диода. Вторичные электроны, эмиттированные с образца, улавливаются вытягива. ющим полем, создаваемым сеточным электродом 6 и модулятором 5, затем фильтруются по энергиям (скоростям) тормозящим противополем электрода 7. Электроны, энергия которых достаточна дпя преодоления потенциального барьера сеток электрода 7, ускоряются электродом 8 и достигают сцинтиплирувпМго торца светово.да 10, в котором проделано отверстие дпя про. эо хождения первичного пучка электронов (зонда), Сигнзл, пропорциональный интенсивности вторичных электронов, регистрируется фотоэлектронным умъвжителем 11 и затем через вычитзвщий блок 12 и усилитель отрицателыюй обратной свя 25 зи видеоусилитель 13...