Патенты с меткой «джозефсоновских»

Номер патента: 950794

Опубликовано: 15.08.1982

Автор: Андрацкий

МПК: C23C 13/00

Метки: джозефсоновских, мостиков

...контактную маску 6 нижнего электрода из фоторезиста или диэлектрика, который плохо травится в высокочастотном ионном разряде (в этом случае на изолируюций слой наносится пленка такого диэлектрика, например А 120 з). На фиг. 2 б показан профиль этих слоев и вид на подложку сверху; заштрихованный квадрат - контактная маска, а пунктиром показан нижний электрод. В ионном разряде через контактную маску травится пленка изолирующего слоя и нижнего электрода, пока не сформируется совпадающие, открытые торцы, При этом пленка нижнего электрода стравливается до подложки в том месте, где ее не защищает контактная маска, которая, в свою очередь, стравливается частично или полностью (фиг. 2 в). Таким образом, пленка нижнего электрода оказывается...