Патенты с меткой «двухпольная»

Номер патента: 307697

Опубликовано: 30.03.1984

Авторы: Корнилов, Моргунов

МПК: G02B 21/36

Метки: двухпольная, совмещения, экспонирования

...потоки для освещения участков полупроводниковой подложки поступают в эпископы с осветительных блоков 7. Луч света 8 проходит через тепловой фильтр 9, конденсатор 10, светофильтр 11 и, отразившись от зеркала 12, попадает в спаренные конденсаторы 13 эпископа, Для увеличения светового потока используются отражатели 14.Эпископы направляют световые лу 55 чи на фотошаблон и полупроводниковую подложку. Затем световые потоки, несущие информацию, поступают во входные зрачки спаренных объективов 6. В предлагаемой установке используются проекционные объективы с большим полем зрения, большим увеличением и со значительной глубиной резкости,Так, например, в макете используется объектив с полем зрения2,4 мм 1,75 мм, увеличением 200, .глубиной...