Патенты с меткой «диэлектрикови»
Способ контроля толщины последовательно наносимых на подложку слоев диэлектрикови металла
Номер патента: 326535
Опубликовано: 01.01.1972
Автор: Фурман
МПК: G02B 5/28
Метки: диэлектрикови, металла, наносимых, подложку, последовательно, слоев, толщины
...лучистый поток от источника, например лампы накаливания. Поток, прошедший через образец, проектируют на входную щель монохроматора, расположенного вне вакуумной ка- ЗО меры. Выдслесцсьссс моцохроматором поток заданного спектрального состава направляют ца приемник лучистой эссергсссс, например фотоумножитель. Сигнал, возникающий на приемнике, подают ца регистрирующее устройство, показания которого линейно связаны с пропусканием образца.Сначала нд подложку наносят диэлектрическое покрытие, состоящее цз чередующихся четвертьволновых слоев с высоким и низким показателямп преломления. Контроль диэлектрических слоев производят на длине волны Лс, соответствующей наибольшему отражецшо диэлектрического покрытия, После нанесения...