Патенты с меткой «адгезивнойпленки»
Устройство для изготовления межопера-ционного спутника из адгезивнойпленки, преимущественно для полу-проводниковых пластин
Номер патента: 838824
Опубликовано: 15.06.1981
Авторы: Иванушко, Колядко, Масленков, Старых, Яковлева, Ярош
МПК: H01L 21/00
Метки: адгезивнойпленки, межопера-ционного, пластин, полу-проводниковых, преимущественно, спутника
...пилообразные зубья.На фиг. 1 изображено устройство в позиции формирования спутника, общий вид, разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1 (перевер нуто); на фиг, 3 - 8 - положения элементов устройства по ходу технологического процесса; на фиг. 9 - межоперационный спутник с закрепленной на нем полупроводниковой пластиной, вид в плане без зашитной пленки. 4В герметизируюшем кольце 7 и матрице 18 выполнены отверстия 23 для сообщения с вакуумным отсрсом. На кольцевом прижиме 6 выполнен уступ 24 для базового кольца 25 (фиг, 3) формируемого спутника-носителя, Вырубной пуансон 5 (фиг, 1)выполнен в виде кольца 26, в котором закреплены расположенные по пилообразномузамкнутому контуру режущие пластины 27 с пилообразными зубьями 28, входяшими при...