Патенты с меткой «417656»
417656
Номер патента: 417656
Опубликовано: 28.02.1974
Метки: 417656
...с по травливанием б ния зазора, уда 25 сушкой, о т л и ч повышения каче мембране при с собственной резК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваОпубликовано 28.11,1974. Еоллет Изобретение относится к микроэлектроннои технике и может быть использовано при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др.).Известные способы изготовления мембранных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующими жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают высокого качества изготовляемых приборов из-за залнпания мембраны...