ZIP архив

Текст

.1970 ( 1480570/1 Кл. Г 16 3/00 Н 04 г 7/02 аявлено 22,кфЦф присоединением заявки1УДК 621.396,6(088.8)Приорит отвенвви возле гвиотров СССР ам в:.",5 ретввиг 1 открвтлй осуд Сове ео д8 апия описания 17.И 1.1974 а опублик Авторыизобретения. П, Гаврюшки П. Дягилев Солдатенков явитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЪХ ПРИБОРО С МИКРОЗАЗОРОМсушкой в вибрацио мембране колебания ной частоте. Последн но с помощью электр га вибратора, в резул буждается на собств те, которая может б мле пном режиме, сообщая на собственной резонанс- ее может быть выполнеомеханического или иноьтате чего мембрана воз енной резонансной частаыть определена по фор 1г"/ог,2 Л длина мембр натяг мембр масса мембг/см. аны, см;аны, дн;раны на единицу длины,где Й пг -редмет изобретения Способ изгото 20 с микрозазором несения электро ного слоев с по травливанием б ния зазора, уда 25 сушкой, о т л и ч повышения каче мембране при с собственной резК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваОпубликовано 28.11,1974. Еоллет Изобретение относится к микроэлектроннои технике и может быть использовано при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др.).Известные способы изготовления мембранных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующими жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают высокого качества изготовляемых приборов из-за залнпания мембраны при сушке под действием снл поверхностного натяжения в зазоре, соизмеримых по величине с электростатическими силами, действующими в готовом приборе при его работе.Предлагаемый способ отличается тем, что мембране при сушке сообщают колебания на собственной резонансной частоте.Это позволяет повысить качество прибора, При реализации описываемого способа последовательно наносят (напыляют) на подложку прибора тянущие электроды, изоляционный слой, контакты, буферный слой и мембрану, после чего удаляют буферный слой посредством вытравливания и промывки с влення мембранных приборов путем последовательного надов, изоляционного и буфер- следующим жидкостным выуферного слоя для образовачением травящей жидкости и ающийся тем, что, с целью ства изготовляемых приборов, ушке сообщают колебания на онансной частоте.

Смотреть

Заявка

1480570, 22.09.1970

МПК / Метки

МПК: F16J 3/02, H04R 7/02

Метки: 417656

Опубликовано: 28.02.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-417656-417656.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">417656</a>

Похожие патенты