Патенты с меткой «414328»

Номер патента: 414328

Опубликовано: 05.02.1974

МПК: C25D 1/10

Метки: 414328

...кремния, а вершины выступов покрывают изолирующим слоем, наг,ример окисью кремния. Матрица изображена на чертеже.Пластина 1 изготовлена цз вентильного металла с моцокрцсталлической структурой, например из низкоомцого кремния. Вершины 5 выступов 2 покрыты изолирующим слоем, например окисью кремния. 1 Лзолируощим слоем могут также служить окись тантала и другие стеклоооразные изолирующие пленки, обеспечивающие хорошее сцепление и цадежцучо 10 электрическую цзоляцио. Толщина изолирующего слоя - цс менее 40 А.Рабочую поверхность матрицы можно формировать разлп шыми способами, цо лучшие результаты получаются прп осаждении ди электрических пленок и последующей фотогравировке. Глубина гравцруемых канавок матрицы должна быть не меньше толщины...