Патенты с меткой «403431»

Номер патента: 403431

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: C30B 25/14

Метки: 403431

...подвода газа и отвода получаемой парогазовой смеси, отличающееся тем, что, с целью обеспечения однородности парогазовой смеси, испаритель выполнен в виде эжектора, соединенного с трубопроводами патрубкамп.2. Устроцство по и. 1, отличающееся тем, что патрубок, соединяющий эжектор с трубопроводом для отвода парогазовой смеси, расположен тангенцпальпо по отношению к трубопроводу. присоединением заявки М Изобретение относится к устроиствам, предназначенным для испарения и получения парогазовых смесей различных летучих соединений, и может найти применение в технологии полупроводниковых материалов. 5Известно устройство для получения парогазовой смеси, например, полупроводниковых материалов, содержащее испаритель и обогреваемые трубопроводы...