Патенты с меткой «401938»

Номер патента: 401938

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: 401938

...капель защитного кислотостойкого лака, например ХСЛ, структуру травят в растворе НР:НХОз:СНзСООН=2:9:5 на глубину, несколько превышающую толщину двух эпитаксиальных слоев. Полученные меза-структуры защищают сплошным слоем защитного лака, подложку подшлифовывают 0 и затем химически никелируют в стандартномрастворе.Защитные слои лака растворяют в толуолеи измеряют прямую вольт-фарадную характеристику меза-структуры на мостовом измериз тельном приборе в двух характерных точках:при нуле (Со) и при выбранном значении прямого смещения (Сц). Оптимальная величина напряжения смещения определяется экспериментально для данного типа СВЧ-ограничиЗ 0 тельного диода с целью получения максимальЗаказ 26515 Изд. Уа 127 Тираж 755 Подписное Ь,ИИИПИ...