Патенты с меткой «348856»

Номер патента: 348856

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Гончаренко, Гудков, Шумаков

МПК: G01B 7/06

Метки: 348856

...измерителя.Измеритель содержит кварцевые резонаторы 1 и 2, глухую заслонку 8, обтюратор 4 со сдвоенным диском; высокочастотные генераторы 5 и 6, смесцтель 7, исполнительный каскад 8, низкочастотный опорный генератор 9, поляризованное реле 10 с двумя устойчцвымц положениями, контакт реле 11 испол- О цительцого каскада 8, реле 12 и его контакты 18 и 14, обмотки 15 ц 16 поляризованного реле и кнопки 17 и 18.Измеритель толщины напыляемых пленокфункционирует следующим образом.5 В вакуумной камере вблизи с подложкой,ца которуо осаждаются элементы микросхемы, устанавливаются два кварцевых резонатора 1 и 2 с одинаковой резонансной частотой. Кварцеьые резонаторы определяют час- О тоты двух идентичных высокочастотных генераторов 5 и 6....