ZIP архив

Текст

348856 Союз Советских Сакиалистических Республик/25-28) Ла 1430 влено 20.1 Ч.19 М. Кл. 6 01 Ь 7/ явки Кс присоединением Приоритет Опубликов комитет па де изобретений и аткрытипри Совете МинистровСССР 11.1972. Б 23 Х УДК 621.317:531.717,11 (088.8) ллетень Ъ та опубликования опцсац Х.9 Авторызобретен. Гудков, Б. В. Гончаренко и Г. мако аявител МЕРИТЕЛЬ ТОЛ 2 Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано в устройствах для вакуумного напыления при изготовлении пленочных компонентов интегральных микросхем.Известен измеритель толщины цапыляемых пленок, содержащий два кварцевых резонатора, располагаемых в потоке цапыляемого материала, заслонку, поочередно перекрывающую один из кварцевых резонаторов.Известные измерители неудобны тем, что у них весьма низкий срок службы кварцевых резонаторов, практически он не превышает 8 - 10 циклов напыления. Суммарная толщина напылеццой пленки не может превышатьмк,ц. Тем самым уменьшается добротность кварца, нарушается линейность между отклонением частоты и приростом массы, Влияние термических факторов ца точность измерений требует строгого подбора пар резонаторов по температурному коэффициенту частоты. Такой подбор резонаторов приводит к значительному их расходу, и эксплуатация устройства становится экономически нерентабельной.Целью изобретения является повышение надежности. Предлагаемый измеритель снабжен вращающимся обтюратором, установленным в потоке напыляемого материала перед заслонкой,Ы НАПЫЛЯ ЕМЫХ ПЛ ЕНО На чертеже изображена блок-схема предлагаемого измерителя.Измеритель содержит кварцевые резонаторы 1 и 2, глухую заслонку 8, обтюратор 4 со сдвоенным диском; высокочастотные генераторы 5 и 6, смесцтель 7, исполнительный каскад 8, низкочастотный опорный генератор 9, поляризованное реле 10 с двумя устойчцвымц положениями, контакт реле 11 испол- О цительцого каскада 8, реле 12 и его контакты 18 и 14, обмотки 15 ц 16 поляризованного реле и кнопки 17 и 18.Измеритель толщины напыляемых пленокфункционирует следующим образом.5 В вакуумной камере вблизи с подложкой,ца которуо осаждаются элементы микросхемы, устанавливаются два кварцевых резонатора 1 и 2 с одинаковой резонансной частотой. Кварцеьые резонаторы определяют час- О тоты двух идентичных высокочастотных генераторов 5 и 6. Соосцые отверстия сдвоенного ьращающегося диска обтюратора 4 периодически открывают однц из кварцевых резонаторов для запылецця.5 Разцостная частота двух генераторов 5 и 6возникающая вследствие осаждения пленки ца однц цз кварцевых резонаторов, выделяется смесителем 7 и подается на исполнительньй каскад 8, в котором производится 0 ее сравнение с частотой низкочастотного геСоста ни тель А. Ду ханинедактор С. Титова Тсхред Л, Куклина Корректор Е. Талалаев Подписио е ."ип петров ССС1 е 1242 ира;к 4 во огаисета по делам изобретений и открыт;и при СМосква, )К, Раушскаи пао., д. 415 Заказ 28ЦЯ 1411 П Т 1 пографи, пи Сапунова нератора 9. При равенстве частот генератора 9 и разностной частоты генераторов 5 и б исполнительный каскад О посредством контактов 14 поляризованного реле 10 перек:по- чает глухую заслонку 3, а контактами 13 подключает новый источник опорной частоты - напряжение промышленной сети.При следующем напылении пленка будет осаждаться на другой кварцевый резонатор, а разностная частота генераторов 5 н б будет уменьшаться до значения равного частоте промышленной сети. Цикл повторяется. Толщина пленки каждого цикла напыленияопределяется разностью опорных частот,Предмет изобретенияИзмеритель толинны наш 1 ляемых пленок, содержа 1 ций дгэ кварцевых резонатора, располагаемых в потоке папыляемого материала, заслонку, поочередно перекрывающую один из кварцевых резонаторов, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности измерителя, он снабжен вра 1 цающимся обтюратором, установленным перед заслонкой.

Смотреть

Заявка

1430389

В. М. Гудков, Б. В. Гончаренко, Г. А. Шумаков

МПК / Метки

МПК: G01B 7/06

Метки: 348856

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-348856-348856.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">348856</a>

Похожие патенты