Патенты с меткой «306591»

Номер патента: 306591

Опубликовано: 01.01.1971

МПК: H05H 11/00

Метки: 306591

...затруднительно из-за большого шага измерений 50 - 100 лтк.Целью изобретения является погып 1 еппе разреш ающей способности.Для анализа пучка предложенным с;особом облучают определенную грань монокристалла, количество распыленного вещества которого зависит только ог интенсивности падающего пучка заряженных частиц (при ус:.овии моноэнергетичности и малой угловои расходимости пучка).Если перпендикулярно направлению падающего пучка заряженных частиц поставить хорошо Отполировапу;О грань монокр 1:;талла, то в результате катодного распыления поверхность монокристалла будет распыляться только на участке падения пучка, т. е. профиль распыленной области монокристалла соОтветствует профилю пучка. А так как локальная интенсивнос 1-ь пучка...