Патенты с меткой «2нт»

Номер патента: 398709

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Авторы

МПК: C23G 5/00

Метки: 2нт

...в течение 2 - 4 мин. При этом с поверхности подложки удаляются загрязнения, не имеющие прочной кристаллохимической связи с ней, например пыль, остатки 10 кислот, щелочей, масла.На второй стадии поверхность подложки,в котОрой распространяются ультразвуковые колебания, бомбардируют расфокусированным электрошп дм лучом, сканирующим по 15 очищаемой поверхности с частотой 0,005 - 1 кгц,причем за счет соударений электронов с загрязнениями происходит их частичное удаление, а остающиеся загрязнения испаряются по мере нагревания подложки. При достиже нии 1200 в 13 С на поверхности подложкипротекает реакция: ЯОе, + Я 1, 2%0 Образовавшийся 810, при этой температуре летуч.Однако при давлении 10 - 4 - 10 е мм рт. ст.в вакуумной камере...