Патенты с меткой «180936»

Номер патента: 180936

Опубликовано: 01.01.1966

МПК: C23C 10/08

Метки: 180936

...и подачи шгертиого газа.осаждения нитрида алюмиция в ененил моноаммиякятя хлористоцил протекает по реакции .А 1 Х+ ЗНС и длится в течение з;гшгсимости от требуемой толщи:сго слоя. Способ позволлет получистыс покрытия. Толщина покры до нескольких миллиметров. По- скрытия цитрида алюминия устойтвию рясплавов ярсеиида галлия. несения покрытии ниафит, кварц и другие из газовой фазы пуов хлорстого ягггсмииком не осссиечишгетпокрытий. Предмет изобретенияСпоссо паиесепил покрытиг иитрида алюминия на графит, кварц и другие тугоплавкие матераль пр терлгческох разложеигги Галогенидов алюминия, от,гтсггошпйсл тем, что, с целью получения особо чистых слоев ццтрида алюминия, используют монояммиакяты галогенидов, например моиоаммиакят хлористого...