Патенты с меткой «155871»

Номер патента: 155871

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: C03C 3/097, H01L 29/12

Метки: 155871

...и травленной поверхностпомещенной в печь.Для получения слоя и-типа используют спиз фосфорносиликатного стекла, получаемого тличается от издают слой дифьнейшего провеся равномерный вательно, повыхода.ледующем.воздухе. Однако нтрации в облаку сторону плапроводится дифпри температуре ходов о еде осаж для дал получает и, следо - р пере ется в с ора на ой конце Налоты,оздухе ожнои боросиликатному ой, пластину травят в воздухе при температуельно обедненное борой окисла, образовавшеи кремниевой пластины иффузии фосфора ров фосфорнокисос из155871 лого аммония (МН) вНРО,. Этот процесс осуществляют следующим образом.В кварцевую трубку 1 (см. чертеж) помещают капсулу 2 с куском 3 фосфорпокислого аммония (ИН)вНРО, и подставку 4 с кремниевыми...