Патенты с меткой «154961»

Номер патента: 154961

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: H01L 21/66

Метки: 154961

...коллектор 11 для приема отраженных и промодулированных электронов.Сканирующий пучок электронов формируется электронной пушкой 2 при напряжении 15 - 20 кв. Две магнитчые линзы 4 и 5 сужают полученный пучок, и на полупроводник 9 попадает уже сфокусированньпл электронный луч 8 диаметром 2 - З.ик. Магнитная отклоняющая си154961стема,состоящая из катушекби 7,заставляетлуч 8 сканировать по ооъакту 9 так, чтобы пересекался р-и переход (по направлению стрелки 12). Если на р-и переход наложено запирающее напряжение, то происходит взаимодействие поля, выходящего в вакуум, со сканирующим лучом 8. Вторичные электроны, рожденные лучом 8, отклоняются в соответствии с локальным значением возмущающего поля.Сигнал можно подать на соответствующий...