Устройство для измерения параметров нелинейных элементов

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 091080 (21) 2989211/18-21 т 1 М. КП.З с присоединением заявки Мо(23) Приоритет 6 01 й 27/26 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(71) Заявитель Минский радиотехнический институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ НЕЛИНЕЙНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ 10 Изобретение относится к радиоизмерительной технике, предназначено для измерения полных проводимостей и добротности различных линейных и нелинейных элементов с повышенной точностью в широком диапазоне рабочих частот и может быть использовано при технологическом контроле параметров полупроводниковых приборов и других объектов с неблагоприятными соотношениями составляющих полных. проводимостей. Известно устройство для измерения добротности и емкости полупроводниковых приборов, основанное на компенсации активных потерь в измерительном блоке при его ударном возбуждении и содержащее генератор запускающих импульсов, блок управления, усилитель-ограничитель разнополярных импульсов, сравнивающий и индикатор-. ный блоки, аналоговый делитель, а также исследуемый элемент с источником и измерителем напряжения смеще ния и управляемые образцовые отрицательную активную и реактивную проводимости 1).Указанное устройство способно работать на повышенных частотах, однако З 0Ф оно не обеспечивает необходимую точность и быстродействие измерений.Известно также устройство для измерения полных проводимостей и добротности нелинейных элементов, содержащее генератор запускающих импульсов, блок управления, соединенный с входом измерительного блока, дифференцирующий и сравнивающий блоки, усилитель-ограничитель, аналоговый делитель, индикаторный блок, источник.и измеритель напряжения смещения, управляемые образцовые активную и реактивную проводимости, а также блок регистрации экстремума, переключатель, два синхронных демодулятора, ВЯ- и Т-триггеры, два элемента И, элемент НЕ, элемент ИЛИ и интегратор. Принцип работы устройства основан на формировании и модуляции путем коммутации исследуемого элемента в измерительном блоке ударно возбуждаемых четвертьволновых колебаний с последующим анализом их амплитуды и периода, а также полной компенсацией измеряемых параметров отрицательными составляющими образцовых проводимостей 2 .Известное устройство обладает повышенным быстродействием и предназ924621 10 15 20 45 50 начено для работы в области относительно низких частот. С повышениемчастоты из-за ограниченной разрешающей способности сравнивающего блокаи интегратора не удается с требуемойстепенью точности осуществлять уранновешивание систем автокомпенсацииактивных и реактивных составляющих в измерительном блоке устройства, что резко снижает точность измерений параметров нелинейных элементов.Цель изобретения - повышение точности измерений и расширение частотного диапазона работы устройства.Для достижения поставленной цели в устройство для измерения параметров нелинейных элементов, содержащееблок управления, соединенный с входом измерительного блока, блок регистрации экстремума, подключенныйк первому выходу измерительного блока, дифференцирующий и сравнивающий блоки, интегратор, аналоговый де. литель, первый и второй входы которого подключены соответственно квыходам сранниваюцего блока и интегратора, переключатель, информационный вход которого подключен к второму выходу измерительного блока, дваэлемента И, элемент НЕ, элемент ИЛИ,ВЯ-триггер, выход которого соединенс входом блока управления, Т-триггер,прямой выход которого соединен с управляющим входом переключателя и одним из входов первого элемента И,а инверсный - с одним из входов второго элемента И, два синхронных демодулятора, управляющие входы которыхсоответственно соединены с выходамипервого и второго элементов И, а выходы - с соответствующими входами сравнивающего блока, генератор запус каюцих импульсов, соединенный с установочным входом Т-триггера и одним,из входов первого элемента ИЛИ, источник напряжения смещения, соединенныйс одним из зажимов для подключенияисследуемого нелинейного элемента,индикаторный блок, раздельные входыкоторого подключены соответственнок выходам интегратора, сравниваюцегоблока, аналогового делителя иисточника напряжения смещения, а также управляемые образцовые активную и реактивную проводимости, одни выводыкоторых совместно с выходом переключателя соединены с другим зажимом для подключения исследуемого нелинейного элемента, другие выводы - собцей точкой устройства, а управляющие входы управляемой образцовой активной проводимости - соответственнос выходами сравнивающего блока и управляемой образцовой реактивной проводимости с выходом интегратора,введены компаратор, элемент ЗАПРЕТ,второй элемент ИЛИ, третий элемент И,цифровой элемент задержки, второй 65 ВБ-триггер и делитель частоты с переменным коэффициентом деления, причем один из входов компаратора соединен с общей точкой устройства,второй - с перным выходом измерительного блока, а выход - с одним извходов третьего элемента И, другойвход которого подключен к выходу блока регистрации экстремума, выход третьего элемента И соединен непосредственно со счетным входом делителя частоты с переменным коэффициентом деления и через элемент НЕ с одним извходов второго элемента ИЛИ, установочный вход делителя частоты с переменным коэффициентом деления и второй вход элемента ИЛИ подключены квыходу генератора запускающих импульсов, а их выходы соединены соответственно с Б- и В-входами второго ВЯ-триггера, прямой выход которого соединен непосредственно с другимн входами первого и второго элементов И, а инверсный через дифференцируюций блок соединен с прямым входом элемента ЗАПРЕТ, инверсный вход которого соединен с ныходом генератора запускающих импульсов, а выход со счетным входом Т-триггера и другим входом первого элемента ИЛИ, выходкоторого соединен непосредственно сВ-входом и через цифровой элементзадержки с Б-входом первого ВЯ-триггера, при этом входы интегратора подключены к соответствующим выходамТ-триггера а информационные входыобоих синхронных демодуляторов подключены к первому выходу измерительного блока,На Фиг.1 представлена структурнаясхема устройства для измерения параметров нелинейных элементов; наФиг.2 - диаграммы, поясняющие принцип измерений и работы устройства,Устройство для измерения параметрон нелинейных элементов содержитизмерительный блок 1, к которомучерез переключатель 2 поцключен исследуемый нелинейный элемент 3 с источником 4 напряжения смещения, с по моцью которого задается необходимыйрежим измерения исследуемого нелинейного элемента 3. Ударное возбуждение колебаний н измерительном блоке 1 осуцествляется с помощью системы, в состав которой входят блок 5 регистрации экстремума, компаратор 6,третий элемент, И 7, элемент НЕ 8, второй элемент ИЛИ 9, делитель 10 частоты с переменным коэффициентом деления, второй ВЯ-триггер 11, дифференцирующий блок 12, элемент ЗАПРЕТ 13, первый элемент ИЛИ 14, цифро.вой элемент 15 задержки, первый ВЯтриггер 16 и блок 17 управления. Вданном устройстве блок 5 регистрацииэкстремума выполнен двухполярным.Т-триггер 18 управляет переключателем 2 и создает информацию о периодах колебаний в измерительном блоке 1 для канала измерения реактивной составляющей проводимости исследуемых элементов, в состав которого входят интегратор 19 и управляемая образцовая реактивная проводимость 20. В со 5 став канала измерения активной состав ляющей, анализирующего информацию об амплитудах колебаний в измерительном блоке 1, входят первый и второй синхронные демодуляторы 21 и 22, сравнивающий блок 23 и управляемая образцовая активная проводимость 24. Образцовые управляемые активная 24 и реактивная 20 проводимости выполнены отрицательными, Аналоговый делитель 25 позволяет получить непосредственный отсчет добротности исследуемых нелинейных элементов, Синхронизация канала измерения активной составляющей проводимости 20 осуществляется импульсами, образующимися на выходах первого и второго элементов И 26 и 27. Начальные условия работы всего устройства в целом обеспечиваются генератором 28 запус кающих импульсов, а регистрация всех измеряемых параметров, включая напряжение смецения исследуемого элемен та, осуцествляется с помоцью индикаторного блока 29. 30Устройство работает следующим образом.Динамику процессов, протекающих в устройстве, проследим, начиная с момента времени, когда происходит установление начальных условий работы отдельных блоков. При этом независимо от состояния последних относительно короткий прямоугольный импульс (фиг.2 а) генератора 28 запускаюцих импульсов через элемент ИЛИ 40 14 воздействует на Н-вход первого ВЯ-.триггера 16 и устанавливает его в исходное (нуленое) состояние, при котором блок 17 управления шунтирует измерительный блок 1 и колебания в нем отсутствуют. Одновременно с этим импульс генератора 28 запускающих импульсов, поступая непосредственно на установочные входы делителя 10 частоты с переменным коэффициентом деления и Т-триггера 18 и через элемент ИЛИ 9 на В-вход второго ВБ-триггера 11, фиксирует последние н исходных состояниях. Этот же импульс, попадая на инверсный вход элемента ЗАПРЕТ 13, предотвращает на время своей длительности появление на его выходе каких-либо импульсов, образующихся, например, в результате переключения второго ВЯ- триггера 11 и последующей обработки 60 н дифференцирующем блоке 12, что исключает ложное срабатывание Т-триггера 18, а в дальнейшем, и первого НЯ-триггера 16. Возникший низкий потенциал на прямом выходе Т-триг гера 18 размыкает переключатель 2 и предотвращает появление импульса на выходе первого элемента И 26, а высокий потенциал, действующий на иннерсном выходе, способствует образованию такового на выходе второго элемента И 27, однако в данный момент времени из-за того, что на. прямом выходе второго ВБ-триггера 11 суцествует низкий потенциал, этот импульс отсутствует. Имеюцийся высокий потенциал на инверсном выходеТ-триггера 18 поступает также на одиниз входов интегратора 19, где подлежит время-амплитудному преобразованию,По истечении интервала времени Г,определяюцегося временем установления переходных процессов, протекающих в устройстве, на выходе цифрового элемента 15 задержки появляется задержанный импульс (фиг.2 б) генератора 28 запускающих импульсов,который, воздействуя на Я-вход первого НБ-триггера 16, переводит егов единичное состояние (фиг.2 в), чтовызывает посредством блока 17 управления ударное возбуждение колебаний(фиг.2 г) в измерительнсм блоке 1.Возникающие колебания с определеннойначальной фазой, например такой, которая показана на фиг.2 г, подвергаются преобразованию в блоке 5 регистрации экстремума и компараторе б,а также поступают для анализа на информационные входы синхронных демодуляторов 21 и 22. Компаратор б формирует прямоугольные импульсы (фиг.2 д),фазы которых соответствуют переходуисходного колебания (фиг.2 г) черезнуль(один вход компаратора б соединенс общей точкой устройства), а блок 5 регистрации экстремума - аналогичные импульсы (фиг.2 е), фазы которых соответствуют местоположению экстремальных точек на этом колебании. Сформированные в блоке 5 регистрации экстремума и компараторе б импульсы поступают на раздельные входы третьегоэлемента И 7, где взаимодействуя меж. ду собой, образуют прямоугольные импульсы (фиг2 ж), длительности и местоположение которых в точности соот-ветствуют интервалам времен, заклю"чейным между первым переходом через нуль и экстремумом каждой положитель. ной полуволны ударно возбуждаемыхколебаний (фиг.2 г).Полученные импульсы, инвертируясь элементом НЕ 8 и проходя через злелент ИЛИ 9, не вызывают изменения состояния второго ВБ-триггера 11 до тех пор, пока не образуется импульс на выходе делителя 10 частоты с переменным коэффициентом деления, на счетный нход которого поступают анализирующие импульсы. Появление во времени импульса на выходе делителя10 частоты с переменным коэффициентомзависит от устанавливаемого коэффициента деления и, значение которого может изменяться в широких пределах, достигая нескольких десятков или сотен единиц. В связи с твч, что принимаемое числовое значение коэффициента деления и принципиально не влияет на динамику протекающих процессон, рассмотрим работу устройства при п=3 (этот случай изображен на фиг.2).В данной ситуации к моменту образования третьего периода ударно возбуждаемого колебания (фиг. 2 г), что соответствует началу третьего импульса (фиг.2 ж), действуюцего на выходе третьего элемента И 7, появляется корот"кий импульс (фиг2 з) на выходе делителя 10 частоты с переменным коэффициентом деления, который воздействует.на Б-вход второго ВБ-триггера 11 и переводит последний в единичное состояниемПриобретенный ча прямом выходе этого ВБ-триггера 11 высокий потенциал (фиг.2 и) проходит на выход второго элемента И 27 ,фиг.2 к) и открывает для приема информации второй синхронный модулятор 22. Этот синхронный модулятор 22, производя непрерывное слежение и запоминание, воспринимаетв данный момент времени информацию об амплитуде третьего периода ударно возбуждаемого колебания (заштрихованная область на фиг.2 г), дейсгвующего на первом выхода измерительного блока 1. Приобретаемая на протяжении рассматриваемых интервалов времен информация преобразовынается в интеграторе 19 и втором синхронном демодуляторе 22 и напряжения определенной полярности. Эти напр жения, поступая раздельно (первоь непосредственно, а второе через сравнивающий блок 23) на управляющие входы управляемых образцовых реактивной 20 и активной 24 проводимастей, смещают их под влиянием большого разностного сигнала (компенсирующие напряжения на вторых входах интегратора 19 и сравнивающего блока 2.3 отсутствуют) в сторону большихзначений отрицательных проводимостей.При достижении максимального значения амплитуды третьего периода колебаний рд (фиг.2 г) заканчивается формирование с помощью блока 5 регистрации экстремума и компаратора 6 третьего импульса на выходе третьего элемента И 7. Этот импульс (фиг.2 ж), проинвертировавшись в элементе НЕ 8 и пройдя элемент ИЛИ 9,задним фронтом возвращает в исходноесостояние второй ВБ-триггер 11(фиг.2 и)Исчезновение высокого потенциала на прямом выходе этого триггера исключает управляющий импульс на выходе элемента И 27 (фиг.2 к), что переводит второй синхронный демодулятор 22 в режим хранения накопленной информации о максимуме амплитуды колебания П (фиг. 2 г), Появившийся высокий потенциал на инверсном выходе второго ВБ-триггера 11, обрабатываясь в дифференцирующем блоке 12, образует на выходе последнего остроконечный импульс (фиг.2 л),который через открытый элемент ЗАПРЕТ 13 (запрещаюций сигнал на инвертирую. щем входе элемента в данный момент времени отсутствует) воздействует непосредственно на счетный вход Т-триггера 18 и через первый элемент ИЛИ 14 на В-вход первого ВБ-триггера 16 и опрокидывает их. При этом блок 17 управления, получая низкий потенциал (фиг.2 в) с выхода первого ВБ-триггера 16, шунтирует измерительный блок 1 и колебательный процесс в нем, быстро затухая по экспоненте, прекращается, завершая формирование серии ударно возбуждаемых колебаний с периодом Т (Фиг,2 г), соответствующим "обственной резонансной частоте измерительного блока 1. Возникающий высокий потенциал (Фиг.2 м) на прямом выходе Т- триггера 18 переводит переключатель 2 н замкнутое состояние и подключает, таким образом, управляемые образ цовые активную 24 и реактивную 20 проводимости, а при измерениях и исследуемый нелинейный элемент 3 с источником 4 напряжения смещения к измерительному блоку 1. Одновременно этот же потенциал подготавливает к приему информации первый элемент И 26 и поступает для обработки на второй вход интегратора 19. К данному моменту времени н интеграторе 19 накапливается н ниде напряжения определенной полярности информация о периоде Т серии ударно возбуждаемых колебаний (фиг.2 г), которая сосредоточена и длительности импульса, суцествонавшего в инверсном выходе Т-триггера 18.Спустя время задержки С (фиг.2 л) на выходе цифрового элемента 15 задержки возникает короткий импульс (фиг,2 б), действовавший ранее на выходе дифференцирующего блока 12. Этот импульс поступает на Б-вход пер. ного ЙБ-триггера 16, который опять переходит н единичное состояние (фиг,2 н), вызывая посредством блока 17 управления снова ударное возбуждение колебаний в измерительном блоке 1, По мере формирования новой серии ударно возбуждаемых колебаний (фиг.2 г) с меньшим декрементом затухания амплитуды и сокращенным периодом из-за того, что в измерительный блок 1 внесены отрицательные активная и реактивная проводимости, информация о текущем периоде колебаний, непрерывно поступающая с пря. мого выхода Т-триггера 18 на второй вход интегратора 19, компенсирует в нем ранее накопленную информацию оначальном периоде Т и смещает управляемую образцовую реактивную проводимость 20 в сторону меньших значений отрицательной составляющей, способствуя росту периода колебаний.Одновременно с этим, получаемая новая серия ударно возбуждаемых колебаний, подвергаясь выше рассмотренной обработке в блоке 5 регистрации экстремума (фиг.2 е), компараторе 6 (фиг.2 д) и третьем элементе И 7, образует последовательность прямоугольных импульсов (фиг,2 ж), временное положение каждого импульса которой соответствует местоположению первых четвертей положительных полуволн анализируемых колебаний. Эта последовательность импульсов воздействует через элемент НЕ 8 и второй элемент ИЛИ 9 на В-вход второго КБ-триггера 11, не вызывая изменение состояния последнего, и на счетный вход дели теля 10 частоты с переменным коэффициентом деления. При поступлении необходимого количества импульсов, соответствующего установленному ранее коэффициенту деления п=3, на вы ходе делителя 10 частоты с переменным коэффициентом деления возникает короткий импульс (фиг.2 з), под влиянием которого второй ВБ-триггер снова переходит в единичное состояние, Образуемый единичный сигнал на прямом выходе этого триггера(фиг.2 и) через первый элемент И 26 поступает на управляющий вход первого синхронного демодулятора 21 и З 5 открывает последний для приема информации. Поступающая с первого выхо. да измерительного блока 1 информация о текущей амплитуде третьего периода ударно возбуждаемого колебания (заштрихованная область на фиг.2 г), 40 непрерывно накапливаясь в первом синхронном демодуляторе 21, преодолевает в сравниваюцем блоке 23 хранимую вторым демодулятором 22 информацию и смецает управляемую образцовую активную проводимость 24 в сторону меньших значений отрицательной составляющей, сдерживая относительный рост амплитуды колебаний.В результате отмеченных противодей-Яствий, происходяцих в интеграторе 19 и сравнивающем блоке 23, маловероятным является то, что даже к моменту окончания формирования данной серии ударно возбуждаемых колебаний их амплитуда и период совпадают с первоначальными. Следует отметить, что наличие отрицательной обратной связи в контурах уравновешиванияактивной и реактивной составляющих, глубина которой в начальный период 0 уравновешивания устройства является наиболее непостоянной во времени, приводит к нарушению постоянствадекремента затухания амплитуды йпериода колебаний в пределах формиру 65 емой серии. В дальнейшем, по мере приближения устройства к уравновешенному состоянию путем формирования последующих серий ударно возбуждаемых колебаний отмеченная нелинейная зависимость практически исчезает,Таким образом, наиболее вероятными оказываются случаи, когда амплитуда и период колебаний в конце формируемой серии не равны 1)оп и То, причем они могут быть как больше, так и меньше их; все зависит от инерционности контуров уравновешивания по активной и реактивной составляюцим, а также от того, подключается или не подключается к измерительному блоку 1 исследуемый элемент 3 с учетом характера его составляющих полных проводимостей. Независимо от того, какой из случаев будет преобладаюцим в данный момент времени, для динамики процессов, происходящих в устройстве, это не имеет решающего значения.Пусть к моменту окончания формиро. вания данной серии ударно возбуждаемые колебания характеризуются амплитудой Ц 1 л ( Поп и периодом Т 1 т т Ор при этом достигая максимума амплитуды ,третьего периода колебаний (фиг.2 г),.) заканчивается описанным вьые способомформирование третьего импульса(фиг,2 ж) на выходе третьего элемента И 7, задний фронт которого рассмотренным выше образом возвращаетв исходное состояние последовательно один за другим второй кБ-триггер 11, Т-триггер 18 с первым ВБ-триггером16 и блок 17 управления, который, шунтируя измерительный блок, прекращает в нем колебательный процесс. Изчезновение высокого потенциала(фиг,2 и) на прямом выходе второго ВБ-триггера 11 заканчивает формирование управляющего импульса (фиг.2 н) на выходе первого элемента И 26, переводящего первый синхронный демодулятор 21 в режим хранения накопленной информации о максимуме амплитуды У, а появление низкого потенциала (фиг.2 м) на прямом выходе Т-триггера 18 лереводит переключатель 2 в разомкнутое состояние, отключаяуправляемые образцовые активную 24и реактивную 20 проводимости от измерительного блока 1, и прекращает поступление на второй вход интегратора 19 информации о периоде Т 1 текуцего колебания.В дальнейшем процессы формирования колебаний в измерительном блоке 1 и разделения информации о составляющих амплитудах и периодах этих колебаний повторяют периодически, создавая непрерывно поступающую информацию об амплитуде Уи периоде Т образцовых колебаний, составляющих собственным параметрам измерительного контура 1, во второй синхрон цый ттэмодулятОр 22 и ДО ОДНОму извходов интегратора 19, а информациюОб амплитуде и периоде колебаний,зависящих от состояния во времени ут"; -равляемых образцовых активной 24 и реактивной 20 проводимостей и характераИэмтЕРЯЕМЫХ СОСтаВЛЯЮЩИХ. ИССЛЕДУЕМОГОэлемента. 3, - в первый демодулятор21 и по другому Входу интегратора 19,В результате непрерывного сравт;.енияамплитуд сигналов с выхода первогосинхронного демодулятора 21 и длите"льностей импульсов с прямого выхода Т-триггера 18 с опорным уровнемсигнала с выхода второго синхронного демодулятора 22 и длительностьюобразцовых импульсов с инверсноготвыхода Т-триггера 18 соответственнов блоке 23 сравнения и интеграторе19 образуются разностные сигналы,стремящиеся, раздельно изменить состояние управляемых активной 24 иреактивной 20 проводимостей такимобразом, чтобы возбуждаемые колебания приблизить к образцовым и привести системы стабилизации амплиту-.ды и периода в уравновешенное состояние независимо От того, подключаются или не подключаются к измерительному блоку 1 управляемые образцовыеактивная 24 и реактивная О проводимости и исследуемый нелинейнь.й элемент 3,Приближсние ударно возбуждаемыхколебаний к образцовым в пределахформируемых серий становится возможным благодаря тому, что при уравновешивании устройства по реактивнойсоставляющей независимо от состоянияпереключателя 2 измерительный блок 1ПрИОбрЕтаЕт ОДНО И тОжЕ Зца тЕНИЕ ВОЛ нового сопротивления, от величины которого, как известно, зависит началь- гЩная амплитуда ударно возбуждаемыхколебаний П(фиг.2 г), В связи сэтим, если за время действия двухпослецовательных серий ударно возбуждаемых колебаний параметры блока управления будут неизменными,что легко осуществимо на практике,то будут равны и начальные амплитуды Ь,. формируемых колебаний. Поэтому достаточно вести анализ толькоамплитуд в конце формируемых серийколебаний, не обращая внимания наповедение начальных амплитуд в процессе уравновешивания устройства,В итоге при достижении равенства анализируемых амплитуд будет полученоодно и тоже значение декремента за-тухания амплитуды колебаний В измерительном блоке 1, т.е. при выДОлнении услОвий Т т Т О и 1 т,т - 1 т Орбудут однозначно равны соответствую.щИЕ аМПЛИтудЫ ударНО ВоэбуждаЕМЫтХ,колебаний формируемых серий, например П. =.ПО,т (фиг. 2 Г) и т.Д.Такий образок, гпустя 3-4 полныхтакта возбуждения колебаний систе,ранцопешиваются сЕт: ЬЮ ТОЧ ттоотн И В ДЭЛЬ,.",г:.т,;твляют слежение за изат:аметров исследуемогоа, .:К 1 тзванцьтх, например, рео-,ко ца. ряже-:ия смещения ис:.;.Оттнт.,ка 4 и.т:и другими возмущающими .;аКТОРамтт т ГОЛНОСТЬЮ КОМПЕНСИРУЯ -меряемт,:.с составляющие проводимоссоответствующими отрицательными составляющими управляемых образцо- ВЫХ ;тттвттОй 24 И рЕаКтИВНОй 20 ПрсВодимостей, Г,ри таких условиях напряжения упраьлеция управляемыми образцовыми активной 24 и реактивной 20 проводимостями пропорциональны измеряемьгмт полным проводимостям и поступатот;ц:я ре истрации на индикаторный блок 9 а также на соответ СТПттщщИЕ ВХОДЫ анаЛОГОВОГто ДЕЛИТЕля 5 ДЛЯ ВЫЧИСЛЕНИЯ тЦОбРОтНОСтИ ИССЛЕ- дуе,ого элемента 3 с госледующей ее тзег тт страц 1 тей .Предлагаемое устройство по сравнению с иззу .тным выгодно отличается т;ом,.щенной точностью измерений и рас- ШиосцтцЫМ ЧаотОтНЫМ дИаПаЗОНОМ рабО- т ьт,формула изобретенияустройство для измерения параметров нелинейных элементов, содержащее б;тОК УттРаВЛЕНИЯ, СОЕДИНЕНЫй С ВХОДОМ ,В.1 еоительнОГО блока, блОк реГистра. :.Ни зкстретту.ат подключенный к перВо, у Выхо:;у измерительного блока, ," .т.тсрецкирутщий и сравнивающий блоки, интегра;ор, аналоговый делитель, пеон,.й и Второй входы котороГО подклю-.т 1 т; соо"Вотственно к выходам т равнивающего блока и интегратора, переключатель, информационный вход КОт.оРОтО ПОДКЛЮЧЕН К ВТОРОМУ ВЫХОДУ измерительного блока, два элементаэлемент ИВ элемтент ИЛИ ВЯ триГ гер, прямой выхо,ц которого соединен с у. в ;раиляюшим входом переключателя и одним из входов первого элемента И, а инверсный - с одним из входов Второго элемента И, два синхронных ттЕМОДУЛЯтОРа, УПРаВЛЯЮЩИЕ ВХОДЫ КООрых соответственно соединены с Выходами первого и второго элементов И, а выходы - с соответствующи:тн 1 Входами сравнивающего блока, генератор запускающих импульсов, соеИНЕттНЫйт С УСТдНОБОЧНЫМ ВХОДОМ 7 триггера и от:,ним из входов первого элемента ИЛИ, источник напряжения сметттения,. Сор., ценный с одним из за- жИМОВ т(ЛЯ ПОДКЛЮЧЕНИЯ ИССЛЕДУЕМОГО тцЕттИНЕйцОГО ЭЛЕМЕНта, ИндИКатОрНЫй блок, раздельные входы которого подклточены сооттзетственно к выходам интегратора, сравнивающего блока, аналогового делителя и источ.ника напряжения смещения, а также управляемые образцовые активную и реактивную проводимости, одни выводы которых совместно с выходом переключателя соединены с другим зажимом дл.".подключения исследуемого элемента,другие выводы - с общей точкой устройства, а управляющие входы управляемой образцовой активной проводимости - соответственно с выходамисравнивающего блока и управляемой об.разцовой реактивной проводимости свыходом интегратора, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений и расширениячастотного диапазона работы устройства, в него введены компаратор,элемент ЗАПРЕТ, второй элемент ИЛИ,третий элемент И, цифровой элементзадержки, второй ВЯ-триггер и делитель частоты с переменным коэффициентом деления, причем один из входовкомпаратора соединен с общей точкойустройства, второй - с первым выходом измерительного блока, а выход -с одним из входов третьего элементаИ, другой вход которого подключен квыходу блока регистрации экстремума,выход третьего элемента И соединеннепосредственно со счетным входомделителя и через элемент НЕ с однимиз входов второго элемента ИЛИ, установочный вход делителя частоты спеременным коэффициентом деления и второй вход элемента ИЛИ подключен к выходу генератора запускающих импульсов, а их выходы соединены соответственно с Я- и В-входами второго ВЯ-триггера, прямой выход которого соединен непосредственно с другими входами первого и второго элементов И, а инверсный через дифференцирующий блок соединен с прямым входом элемента ЗАПРЕТ, инверсный вход которого соединен с выходом генератора запускающих импульсов, а выход - со счетным входом Т-триггера и другим входом первого элемента ИЛИ, выход которого соединен непосредственно с В-входом и через цифровой элемент задержки с Я-входом первого ВЯ-триггера, при этом входы интегратора подключены к соответствующим выходам Т-триггера, а информационные 20входы обоих синхронных демодуляторов О подключены к первому выходу измери 1тельного блока.Источники информации,принятые во внимание при экспертизед 1. Авторское свидетельство СССР.Р 429375, кл. С 01 В 27/26, опублик.02.07.75,2. Авторское свидетельство СССРР 691781, кл. С 01 В 27/26,С 01 В 27/00, опублик, 18.10.79 (прототип)./б 2 Тираж 719ВНИИПИ Государственного комипо делам изобретений и от 113035, Москва, )Х, Раугск Подитета СССРкрытийая наб., д