Установка для электронно-лучевой обработки

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 9) И 1 488 а 4 В 15/О ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ы щего коль зочное от глов исклюеры с вне ь гарант оне всего ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ АВТОРСКОМУСВИДЕТЕЛЬСТ(57) Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в электронно-лучевых установках, Оно позволяет повысить качество изделий и надежность установки,Установка содержит электронную пушку, шлюзовую систему с вакуумной 3,шлюзовыми 4, 5 камерами и с транспортирующим кольцом с загрузочными отверстиями 7. Транспортирующее кольцо выполнено в виде тора, а шлюзовая системаполнены в виддруг относитуглы которыхс 2/и.п,2 /п(п)+М, - угол сек3,- углы смы; п - числп, - число тв вакуумнойнологическихтеме соответ0 - централь и вакуумная камера в е герметизированных ельно друга секторов, связаны соотношениями: 6 +=2 С/и (и +и );(2 Яп(п 4 ), где тора вакуумной камеры; екторов шлюзовой систео загрузочных отверстий, ехнологических позиций камере; и п - число тех позиций в шлюзовой сисственно с углами ,; ный угол транспортирую- в который вписано загру стие. Такое соотношение ает контакт рабочей каей средой, позволяет соз рованную среду в рабочей икла обработки изделий.12748 Изобретение относится к электронной технике, в частности к электронно-лучевым установкам, и может быть применено для сварки, пайки и термической обработки иэделий электрон ной техники.Целью изобретения является повышение качества изделий и надежности установки,На фиг. 1 схематично представле на установка, общий вид; на фиг.2шлюзовая система установки, вид сверху; на фиг. 3 - схема расчета шлюзовой системы.Установка содержит электронную пушку 1 с кольцевым катодом 2 и шлюзовую систему с вакуумной 3, шлюзовыми 4, 5 камерами и с транспортиру ющим кольцом 6, имеющим равномерно расположенные загрузочные отверс тия 7.Электронная пушка 1, установленная с возможностью перемещения перпендикулярно своей оси, например, посредством создания гарантированного зазора 8 в местах крепления, может изменять свое положение относительно изделия.Для осуществления возможности перемещения перпендикулярно своей оси30 кольцевой катод 2, снабженный, например, в своей плоскости симметричными относительно диаметра параллельными односторонними выводами, может быть закреплен их поджатием в пазах, З 5 выполненных по месту разъема фокусирующих электродов 9, что обеспечивает перемещение катода относительно изделия, При этом со стороны, противоположной креплению, катод опирает ся на подвижные поддержки, выполненные, например, иэ тонкой тугоплавкой проволоки, изогнутой в виде крючков.Перемещения пушки и катода относительно изделия, являющегося анодом, необходимы для регулирования распределения плотности тока пучка по периметру зоны нагрева. В результате устраняются перегревы отдельныхучастков на изделиях и пробои пушки, 50 связанные с нарушением вакуумного промежутка анод - катод. Подсоединение пушки и катода к внешним средствам юстировки позволяет изменять их положение в процессе работы уста- И новки.Камеры 3-5 шлюзовой системы выполнены в виде секторов соответствен 82 3но с углами К 3,, через которыепроходит транспортирующее кольцо 6.Шлюзовые камеры 4 и 5 отделены отвакуумной камеры 3 на границах 10и 11 и от внешней среды на границах12 и 13 уплотнениями., прижатыми ктранспортирующему кольцу 6. Выполнение кольца в виде тора гарантирует плотное облегание уплотнений поего периметру, что позволяет исключить течи по кольцу, а следовательно, герметизировать камеры относительно друг друга. Дпя уменьшенияизноса уплотнений загрузочные отверстия 7 имеют фаски.Транспортирующее кольцо 6 установлено на опорах 14,Механизм привода транспортирующе"го кольца, выполненный, например,в виде рычагов 15 и 16, установлен"ных на оси шлюзовой системы и соединенных оо штоком гидроцилиндра 17,закрепленного на опоре вращения,обеспечнвает поворот транспортирующего кольца 6 на заданный угол храповым пальцем 18, расположенным врычаге 15 параллельно оси системы нарасстоянии радиуса загрузочных от",верстий от ее центра.Число позиций в камерах определяется заданным технологическим процессом. Углы секторов шлюзовой системы,имеющей по одной технологическойпозиции в шлюзах, выбираются из соотношений 2 4 ь Щ;ф,=Ф: - ,Ос с Ьи 1 где- угол сектора вакуумной камеры;углы секторов шлюзовой системы;- число загрузочных отверстийтранспортирующего кольца;О - число технологических позиций в вакуумной камере;центральный угол транспортирующего кольца, в которыйвписано загрузочное отверс"тие,Такое соотношение углов при вращении транспортирующего кольца 6 против часовой стрелки гарантирует последовательный переход загрузочных отверстий через вакуумную 1 О и внешнюю 12 границы шлюзовой камеры 4, а3 1274 также через вакуумную 11 и внешнюю 13 границы шлюзовой камеры 5, при этом обеспечивается одновременный переход загрузочных отверстий через вакуумные 10 и 11, а также через 5 .внешние 12 и 13 границы системы.В результате исключается контакт рабочей камеры с внешней средой и сокращается время ее сообщения с разреженными объемами шлюзов, что поз- О воляет создать гарантированную среду в рабочей зоне во время всего цикла ,обработки иэделий, а следовательно, предотвратить окисление изделий и установить стационарный режим работы 15 откачных средств. Кроме того, создается возможность откачивать шлюзовые камеры 4 и 5 одним насосом, а следовательно, уменьшается количество откачных и коммутирующих устройств. 20Первоначальное прохождение загрузочными отверстиями сначала вакуумных, а затем внешних границ не требует восстановления атмосферы шлюзовых камер при транспортировке, вслед ствие чего уменьшается и время холостых ходов.Установка работает следующим образом.Производится загрузка - выгрузка З 0 изделий в загрузочные отверстия 7, расположенные во внешней среде.Штоком гидроцилиндра 17 рычаги 15 и 16 механизма привода поворачиваются против часовой стрелки, захватывая транспортирующее кольцо б храповым пальцем 18, находящимся в загрузочном отверстии кольца. Загрузочные отверстия, расположенные в шлюзовой камере 4 и на выходе вакуумной каме ры 3, одновременно пересекают вакуумные границы 1 О и 11 шлюзовой системы. При этом внешние границы 12 и 13 перекрыты сплошной поверхностью транспортирующего кольца. 45После полного перехода загрузочных отверстий через границы О и 11 при дальнейшем вращении транспортирующего кольца 6 происходит одновременный переход через внешние границы 12 и 13 загрузочных отверстий, расположенных в шлюзовой камере 5 и во внешней среде на входе в шлюзовую камеру 4. При этом вакуумные границы 10 и 11 перекрыты сплошной поверхностью транспортирующего кольца.Механизм привода поворачивает транспортирующее кольцо 6 на задан 882 4ный шаг, равный шагу загрузочных отверстий, При остановке храповой палец 18 фиксирует положение транспортирующего кольца, удерживает его от обратного хода, возникающего от действия реактивных сил со стороны уплотнений шлюзовой системы.На рабочей позиции вакуумной камеры иэделие подается в электронную пушку 1 и устанавливается в плоскости кольцевого катода 2. После обработки изделие выводится из электронной пушки и возвращается в загрузочное отверстие транспортирующего кольца 6.Далее осуществляется возврат рычагов 15 и 16 посредством гидроцилиндра 17. При этом храпоной палец 18 выводится иэ загрузочного отверстия а транспортирующее кольцо 6 удерживается в неподвижном состоянии уплотнениями на границах камер. При обратном ходе храповой палец 18 заводится в следующее загрузочное отверстие транспортирующего кольца б.Торовое исполнение кольца, проходящего через все камеры, обспечивает плотное облегание по его периметру уплотнений всех камер. Выполнение шлюзовой системы совместно странспортирующим кольцом в виде герметизированных друг относительно друга секторов позволяет создать высокое разрежение в рабочей камере, исключающее окисление металлов и сплавов, что повьппает качество изделий. Герметизация камер уменьшает также нагрузку на средства откачки, сокращая число их откаэов, вследствие чего повьппается надежность оборудования.Форма камер в виде секторов и соотношение между их углами выбраны из условия последовательного перехода загрузочных отверстий транспортирующего кольца сначала через вакуумные, а затем внешние границы шлюзовой системы при одновременном прохождении отверстиями одноименных границ,Последовательный переход загру" эочных отверстий сначала через вакуумные, затем через внешние границы шлюзовой системы исключает кон-такт рабочей камеры с внешней средой, а одновременное прохождение отверстий через одноименные границы эа счет сокращения времени сооб 274882"г,Ппушку, преимущественно с кольцевым катодом", установленную в вакуумной камере, шлюзовую систему, транспортирующее кольцо с равномерно расположенными загрузочными отверстиями, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения качества изделий и надежности установки, транспортирующее кольцо выполнено в виде тора,а шлюзовая система и вакуумная каме О ра выполнены в виде герметизированных друг относительно друга секторов, при этом углы секторов связаны следующими соотношениями:2 Ф 15ф а И фИ )Длфф- (И +И 1 угол сектора вакуумной камеры;углы секторов шлюзовой сис-.темы;число загрузочных отверстийтранспортирующего кольца;число технологических позиций в вакуумной камере;число технологических позиций в шлюзовой системе соответственно с углами ,;центральный угол транспортирующего кольца, в которыйвписано загрузочное отверстие.исное СССР 5 д, ул. Проектная, 4 роизводственно-полиграфическое предприятие, г. по делам из113035, Моск твенного комитететений и открытииЖ, Раушская