Кассета для полупроводниковых изделий

(5 П 4 В 65 0 85/ ВсРС и1 д ОРСК СВИДЕТЕЛЬСТВУ йло ВЫХ с здеых ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(54) КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУТ 1 РОВОДНИКИЗДЕЛИЙ(57) Изобретение относится к ктам (К) для полупроводниковых илий. (ПИ) преимущественно в видпластин и дисков, предназначендля транспортирования, хранения выгрузки изделии. Целью изобретенияявляется сохранение качества ПИ приперегрузке их из кассеты в кассетуКасета содержит открытый сверху корпус1 н съемную крышку, состоящую из основания 2, подпружиненного ползуна (ПП3, защелок 4, диагонально расположенных стоек 5 и отверстий под стойки 5 и фиксаторов 7 положения (ФП),Внутри корпуса 1 закреплены съемныепластины 9 с направляющими и амортизирующая прокладка 11, Снаружи корпуса 1 выполнены выемки под диагонально расположенные стойки 5 съемноикрышки, предназначенные для штабелирования кассет. В основании 2 и ПП3 соосно с направляющими съемных1404416 пластин 9 выполнены сквозные пазыдля прохода ПИ. ФП 7 выполнены в видедвуплечих рычагов, на свободных концах которых установлены противовесы15, позволяющие стопорить ПП 3 в совмещенном положении сквозных пазовоснования 2 и ПП 3 при перегрузке ПИиз кассеты в кассету. При отжатииФП 7 ПП 3 перемещается по направляющим штырям под действием пружины12 в исходное положение, перекрываясквозные пазы основания 2 и ПП 3ПИ 1Изобретение относится к устройствам для хранения, транспортирования и выгрузки изделий, а именно к кассетам для полупроводниковых изделий преимущественно в виде пластин и дисков.Цель изобретения - сохранение качества полупроводниковых изделий при перегрузке их из кассеты в кассету, путем исключения воздействия внешних факторов и обеспечение надежности при хранении и транспортировании.На фиг. 1 изображена кассета, вид спереди (пунктиром изображена штабелируемая кассета); на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг, 3 - то же, вид сбоку (пунктиром изображена перегружаемая кассета);,на фиг, 4 - разрез А-А на фиг. 3.Кассета содержит открытый сверху корпус 1.и съемную крышку, состоящую из основания 2, подпружиненного ползуна 3, двух защелок 4, диагонально расположенных стоек 5, отверстий 6 под стойки 5 и фиксаторов 7 положения подпружиненного ползуна 3, На внутренних поверхностяХ противолежащих. боковых стенок корпуса 1 закреплены винтами 8 съемные пластины 9 с направляющими, образованными рядами ребер с зазорами для размещения в них полупроводниковых иэделий 10. На дне корпуса 1 размещена амортизирующая прокладка 11 из гофрированного полиэтилена, предохраняющая полупроводниковые изделия 10 от повреждения при возможных ударах и вибрациях. Толщина прокладки 11 выбирается из условия устанавливаются в направляющих съемных пластин 9 и фиксируются в сквозных пазах ПП 3. При необходимостидоступ внутрь кассет осуществляетсяотжатием защелок 4 и снятием съемнойкрышки, Перегрузка ПИ из кассеты вкассету без соприкосновения поверхностей ПИ с внешними факторами позволяет повысить качество ПИ в процессе производства, хранения и транспортирования, 2 з.п. ф-лы, 4 ил,обеспечения минимального зазора порядка 0,2-0,5 мм между изделием 10 иподпружиненным ползуном 3 съемнойкрышки,5 Кроме того, в корпусе 1 кассетыпредусмотрены выемки под диагональнорасположенные стойки 5 съемной крьппки, предназначенные для штабелирования кассет, На внутренней поверхнос 10 ти основания 2 съемной крышки сооснонаправляющим пластины 9 выполненысквозные пазы для прохождения полупроводниковых изделий 10, в которыхфиксируются верхние кромки иэделий 1015 при транспортировании и хранении.Такие же сквозные пазы выполнены вподпружиненном ползуне 3,Под действием пружин 12, расположенных в отверстиях одной из защелок 4, попзун 3 перемещается относительно основания 2, перекрывая сквозные пазы основания 2. Перемещение ползуна 253 осуществляется вдоль трех направляющих штырей 13, один из которых установлен в одной из защелок 4 со стороны пружин 12, а два других - в другой защелке 4 симметрично пружинам 12, при этом защелки 4 расположе ны с двух противолежащих сторон основания 2 и закреплены к нему винтами 14. Фиксаторы 7 положения расположены диагонально со стороны двух противолежащих торцов ползуна 3, при этом 35 каждый фиксатор 7 выполнен в видедвуплечего рычага, на свободном конце которого размещен противовес 15 для стопорения ползуна 3 при совмещении сквозных пазов ползуна 3 и основания 2.1 35 40 45 С кассетой работают следующим образом. 5Перегрузку полупроводниковых изделий 10 из кассеты в кассету без соприкосновения,с внешней средой производят наложением одной кассеты на другую, при этом диагонально расположен=.0 ные стойки 5 одноц кассеты входят в диагонально расположенные отверстия б другой кассеты до полного соприкосновения съемных крьппек, После этого подпружиненные ползуны 3 съемных крышек сдвигаются в одну из сторон до отказа и стопорятся фиксаторами 7 положения, обеспечивая совмещение сквозных пазов оснований 2 со сквозными пазами ползунов 3 и свободное прохож дение полупроводниковых изделий 10 из одной кассеты в другую. После этого совмещения кассеты .опрокидываются и полупроводниковые изделия 10 перекатываются из вышерасположенной кассеты25 в нижерасположенную по направляющим съемных пластин 9, при этом амортизирующая прокладка 11 предохраняет кромки полупроводниковых изделий 10 от повреждений при возможных ударах, З 0После окончания перегрузки фиксаторы 7 положения отжимаются и под действием пружин 12 ползуны 3 возвращаются в исходное положение, при.этом сквозные пазы оснований 2 смещаются относительно сквозных пазов ползунов 3, перекрывая проход полупроводниковым изделиям 10. Это положение в каждой кассете фиксируется фиксатором 7 автоматически за счет противовеса 15, установленного на свободном конце двуплечего рычага фиксатора 7. Таким образом, полупроводниковые изделия 10 в кассете располагаются в зазорах направляющих двух противолежащих съемных пластин 9 и сквозных пазах под-пружиненного ползуна 3, что обеспечивает их сохранность при транспортировании и хранении.При штабелировании диагонально расположенные стойки 5 нижерасположенной кассеты входят в выемки корпуса 1 вышерасположенной кассеты.Выполнение кассеты со съемными пластинами 9 и съемной крышкой позволяет использовать ее в качестве тары для хранения различных изделий, при этом для доступа внутрь кассеты достаточно отжать защелки 4 и снять крьппку. Замена съемных пластин 9 в корпусе кассеты обеспечивает воэможность транспортирования и хранения полупроводниковых изделий различных типоразмеров.Предлагаемая кассета позволяет производить перегрузку полупроводниковых изделий из кассеты в кассету без соприкосновения их поверхностей с внешними факторами, что способствует повышению качества полупроводниковых изделий в процессе их пооизводства,хранения и транспортирова ния. формула изобретения1. Кассета для полупроводниковыхизделий, преимущественно в виде пластин и дисков, содержащая открытыйсверху корпус с расположенными на .внутренних поверхностях противолежащих боковых стенок направляющими,образованными рядами ребер с зазорамидля размещения в них изделий, снабженную защелками для крепления к корпусу съемную крышку с удерживающимиполупроводниковые иэделия элементами,расположенными на внутренней поверхности соосно с направляющими корпуса,и выполненные в корпусе и съемнойкрышке элементы фиксации для штабелирования кассет, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что, с целью сохранениякачества полупроводниковых изделийпри перегрузке из кассеты в кассетупутем исключения воздействия внешнихфакторов, съемная крышка состоит изоснования с подпружиненным ползуномс фиксаторами положения, а удерживающие элементы выполнены в основаниикрышки в виде сквозных пазов для прохода изделий, при этом в ползуневыполнены сквозные пазы, соответствующие пазам основания и перекрывающиепоследние, а основание снабжено парой диагонально расположенных стоеки отверстий под стойки вышерасположенной кассеты при перегрузке полупроводниковых изделий,2. Кассета по п,1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что направляющие выполнены съемными,3, Кассета по п.1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что фиксаторы положения ползуна выполнены в виде двуплечих рычагов, на свободных концахкоторых размещены противовесы длястопорения ползуна при совмещениисквозных пазов основания и ползуна, 140441 б1404416 А А. Стекольщиковдюкова КоРРектоР И, Эрдей оставител ехред Л.С едактор П. Гереши Тираж 664 Заказ 3044/21 4/ ственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,сиз 8 2 ВНИИПИ Государственного комит по делам изобретений и отк13035, Москва, Ж, Раушская н Подписноета СССРытийбе, де