Вакуумный молекулярный насос

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК Н 4 Г 04 О 19 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ 54) ВАКУУ 1 НЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС 7) Изобретение относи й технике и позволяет л. У 15дователь кий ин и кибе ки нас ду отка рнеен 1 атематик нском государс им. Н.И. Лобач ка 1 СД ия уст скоя из угих про торых.П.Иванов2.527.8 ( вторское с 055, кл. Е высота4, дисых ленфрагм 88.8)идетельство СССР 04 О 19/04, 1985 анционнь и раздвиженты разГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(7) Научно-исстут прикладнойтики при Горькуниверситет номго(56)В 2 качные характерист зу 4 первого по хо газа статорного дис можностью перемещен простанка, состояща дольных гребней 7, равна глубине паза упругих гофрирован я к вакуумлучшить отоса. В пачиваемого390439 0,05 г ( ЬО, 143 г,20 мещены между гребнями и контактируют нижними торцами с днищем 5 паза 4, а диафрагмы размещены на верхних торцах лент. Стенки 6 паза снабжены направляющими 10, взаимодействующими с лентами. Ленты имеют высоту Ь, определяемую из уравнения Ь " Ь,п/п(п + + 1), где и - ближайшее число, целое к выражению (Ь,/Ь - 1), Ь, - глубина паза первого по ходу откачиваемого газа СД; Ь - глубина пазов остальных СД. Ксрпус 1 насоса м.б.снабжен поворотным кольцом 11 с приводом, охватывающим первый по ходу откачиваемого газа СД 3, и подсоединен к проставке с воэможностью относительного перемещения. Привод кольИзобретение относится к вакуумной технике и касается усовершенствования насоса по авт. св. Нф 1267055.Целью изобретения является улучшение откачных характеристик. 5На фиг. изображен молекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг.2 - поворотное кольцо с приводом; на фиг.3 - проставка;на фиг.4 - то же, с раздвижными лепестковыми 10 диафрагмами,Вакуумный молекулярный насос содержит цилиндрический корпус 1 и расположенные в нем гладкие роторные диски 2 и статорные диски 3 со спи ральными пазами 4 с днищем 5 и стенками Ь, при этом пазы 4 имеют глубину, определяемую иэ соотношения где г - радиус роторных дисков 2, а паз 4 первого по ходу откачиваемого газа статорного диска 3 имеет глубину большую, чем у остальных дисков, причем первый по ходу откачиваемого газа статорный диск 3 снабжен проставкой, установленной в его пазу с возможностью перемещения и состоящей из упругих продольных гребней 7,имеющих высоту, равную глубине паза 4, размещенных между гребнями 7 дистанционных упругих гофрированных лент 8, контактирующих нижними торцами с днипа 1 выполнен в виде штока и шарнир"но соединенного с ним рычага 13,жестко закрепленного на кольце. Упру.гие деформации лент обеспечивают уплотнение основания проставки с боковыми стенками 6 паза, что предотвращает обратную диффузию газа и ухудшение характеристик насоса. Диафрагмы препятствуют обратной диффузии впределах отдельного гофра. Для каждого значения газовой нагрузки, меняющейся в процессе откачки и соразмерной с быстротой действия насоса,найдется такое положение проставки впазах, при котором достигается наибольшая степень сжатия. 3 э.п. ф-лы,4 ил. щем 5 паза 4, и раздвижных лепестковых диафрагм 9, размещенных на верхних торцах лент, а стенки 6 паза 4 снабжены направляющими 10,. взаимодействующими с упругими лентами 8.Кроме того, гофрированные ленты 8 имеют высоту, определяемую иэ урав- нения пЬ --- Ь( -- 1)ЬЬ - глубина паза первого по ходу откачиваемого газа статор.ного диска;Ь - глубина лазов остальных ста 2торных дисков.Корпус 1 насоса может быть снабжен поворотным кольцом 11 с приводом,охватывающим первый по ходу откачиваемого газа статорный диск 3 и подсоединен к проставке с возможностьюотносительного перемещения,При этом привод кольца 11 выполнен в виде штока 12 и шарнирно соединенного с ним рычага 13, жесткозакрепленного на Кольце 11. Насос со"держит также входной 14 и выходной 15патрубки.Пток 12 может быть подсоединен через сильфон 16 к муфте 17 свинтом 18 и рукояткой 19. Винт 18О сопряже г.яцко , з,фгкс 1 ной отцосите:ьо корпу я 1,Ня каждом стяторцом диске 3 гожегбыть несколько спрялы,х гязон 4.Насос работает следующим образом.5Откачивяемьй гяз через входнойпатрубок 14 поступает к спиряльцомупазу 4 первого по ходу откачки статорного диска 3.Нжгий роторцый диск 2 перемещаетгаз вдоль пазов 4 с прос.тавкой сгребнями 7, разделяющих основной паз4 на и + 1 более мелких на перифериинасоса.15Затем через радияльь зазор между роторцым дискоми поворотнымкольцом 1 газ диффундирует ца входвторой ступени и тяк далее к ньходному патрубку 15, откуда гяэ удаляется20всполоательньг форнакуумным насосом,При откачке положение простявкив пазу 4 настраивается до полученияминимального давления в откачинаемойкамере. Настройка производится вращением винта 8 (Фиг.2) нручцую рукояткой 19 или двигателем (не покаэяц).Винт 18 ввинчивается в гайку 20 (иливывицчивается иэ цее) и через муфту7 передает поступательное движение30штоку 12, который перемещает рычаг 13вместе с кольцом 11.Поворот кольца 11 вызывает перемещение проставки вдоль пазов 4. Перемещение проставки вдоль дня пазаобеспечивается цаправляющими 10 набоковых стенках 6 пазов 4. Воэможность искривления проставки при движении вдоль паза обеспечивается упругостью гребней 7 и гофрированныхлент 8. Упругие деформации лент 8обеспечивают уплотнение основанияпроставки с боковыми стенками 6 паза 4, что предотнращает обратную диф"фузию газа и ухудшение характеристикнасоса. Этому способствует покрытие45гофрированных лент 8 лепестковымидиафрагмами 9, которые препятствуютобратной диффузии в пределах отдельного гофра, цо не препятствуют поперечным изгибам простанки, благодарявзаимной подвижности алегяющих другна друга легестковьгх диафрагм 9.При выдвижении простанки в паз 4степень сжатия увеличивается, а быстрота откачки умецьшается. ри втягивании проиявки ца периферию диска 3 степень сжатия умен 1 яется, абыстрота откачки возрастает, Для каж" ого эцячгия газовой цагруэки, и"цяющейсяпроессе откачки и соразмерной с быстротой действия насоса,цяйдется такое положецие простанки впазах, при котором достигается наибольшая степень сжатия.Предложенная перестройка первойпо ходу откачиваемого газа ступенимолекулярного насоса позволяет значительно уменьшить предельное остаточцое давление насоса,Формула изобретения1. Вакуумный молекулярный насос по авт. св. М 1267055, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью улучшения откачцых характеристик, первый по ходу откячиваемого газа статорный диск снабжен проставкой, установленной н его пазу с возможностью переме" щения и состоящей из упругих продольных гребней, имею(их высоту, равную глубине паза, размещенных между гребнями дистациогьх упругих гофрироняшьх лент, контактирующих нижними торцами с днищем паза и раздвижных лепестковых диафрагм, размещенных на верхних торцах лент, а стенки паза сцабжены цаправляющими, взаимодействующими с упругими лентами.2. Насос по п.1, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что гофрированные ленты имеют высоту, определяемую из уран енияиЬ = - Ъи+ 1 фгде п - ближайшее целое число к выражениюЬ( 3 ).ЬЬ, - глубина паза первого по ходуоткачиваемого газа статорного диска;Ь - глубина пазов остальных статорных дисков,3Насос по и. 1, о т л и ч а ю " щ и й с я тем, что корпус снабжен поворотным кольцом с приводом, охватывающим первый по ходу откачиваемого газа статорный диск, и подсоединен к проставке с возможностью относительного перемещения.4. Насос по и. 3, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что привод кольца выполнен в виде штока и шарнирно соединенного с ним рычага, жестко закрепленного на кольце.Редактор Г. Волкова ректор И.Муска каз 1754/38 Тираж 574 ПодписноБНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 роизво нно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная