Предметный стол

,регистрации СТОЛ, содержанным в нем выполнены во ревательныйратуры, о тем, что, с оизводительО И 2 Ю ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(54)(57) 1. ПРЕДМЕТНЪЙщий корпус с установлеоснованием, в которомдуховодные каналы, нагэлемент и датчик темпел и ч а ю щ и й с я тцелью повьппения его пр зд) С 02 В 21/30 Н 01 Ь 2 66 ности, основание выполнено в виде фольгированной с двух сторон гибкой диэлектрической пластины, установленной на корпусе посредством введенных в него упругих тяг, закрепленных концами на периферии диэлектрической пластины, а нагреватель выполнен в виде плоского проводника, который образован канавкой, выполненной на фольге диэлектрической пластины со стороны, обращенной к корпусу.2. Стол по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я . тем, что упругие тяги выполнены в виде винтов, размещенных головками на основании и установленных с зазором в резьбовыхотверстиях, выполненных в корпусе, и цилиндрических пружин, одними концами закрепленных на свободных концах винтов, а другими концами соединенных между собой в центральной части корпуса.1128213 1Изобретение относится к электронному машиностроению и предназначенодля проверки и исследования полупроводниковых пластин преимущественнов контрольно-измерительном оборудовании производства изделий электронной техники,Известно устройство, содержащеевакуумную камеру, питаемый от источнйка тока нагревательный элемент 10в виде индукционной катушки, а такжедержатель из электропроводного материала 13.Однако такое устройство непригодно для большинства работ по измерению и исследованию полупроводниковыхпластин из-за воздействия электромагнитных полей при индукционном нагреве.Известны также предметные столы,в которых используются токопроводящие 20покрытия на стекле. В этом случаеподложкой полупроводниковой пластиныслужит токопроводящая.пленка, которой покрывается стеклянная пластинка Г 23.25Однако в момент измерения параметров полупроводниковой пластины последняя оказывается под напряжением.Вследствие этого такие предметныестолики также непригодны для работыс полупроводниковыми пластинами.Наиболее близким по техническойсущности к предложенному являетсяпредметный стол, содержащий корпусс устаноВленным в нем основанием,35в котором выполнены воздуховодныеканалы, нагревательный элемент идатчик температуры 33.Недостатком известного устройстваявляется большая металлоемкость осно 40вания и корпуса, обусловленная тре-.бованиями плоскостности основанияи равномерности распределения температур по предметной плоскости, ималая скорость нагрева и охлаждения,45.что снижает производительность устФройства. ством введенных в него упругих тяг,закрепленных концами на перифериидиэлектрической пластины, а нагреватель выполнен в виде плоского проводника, который образован канавкой, выполненной на фольге диэлектрическойпластины со стороны, обращенной ккорпусу, причем упругие тяги выполнены в виде винтов, размещенных головками на основании и установленных сзазором в резьбовых отверстиях, выполненных в корпусе, и цилиндрических пружин, одними концами закрепленных на свободных концах винтов, адругими концами соединенных междусобой Ь центральной части корпуса,На фиг. 1 представлен предметныйстол, вертикальный разрез на Фиг,2разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 2; на фиг, 4 - разрез В-В на фиг. 3; на фиг. 5 - узел 1на фиг.3; на фиг,б - узел 11 на фиг. 3,Предметный стол содержит основание 1, выполненное в виде пластиныиз тонколистового (толщиной 0,25 мм)гибкого фольгированного диэлектрика,в котором верхний слой 2 (меднаяфольга) имеет хромовое покрытие (толщина до 3 мкм) и служит токопроводящей подложкой, нижний слой (меднаяфольга) используется для образованиянагревательного элемента 3, а диэлектрик 4 является электроизолятором длятокопроводящей подложки. Нагревательный элемент 3 представляет собойплоский проводник в виде спирали равного сечения, образованной канавкой 4,химически вытравленной в фольге. Концы нагревательного элемента 3 выведены за пределы предметного столика:центральный - через последовательноприпаянные ось 5 и шину 6, периферийный - через припаянную шину 7. Основание 1 нагревательным элементом 3примыкает к торцу электро- и теплоизоляционного корпуса 8 (в даннойконструкции корпус выполнен из гетинакса), Цель изобретения - повьппение производительности,Цель достигается тем, что в предметном столе, содержащем корпус сустановленным в нем основанием,в котором выполнены воздуховодныеканалы, нагревательный элемент идатчик температуры, основание выполнено в виде фольгированной с двухсторон гибкой диэлектрической пласти,ны, установленной на корпусе посредНа примыкающем к основанию 1 то 1. це корпуса 8 выполнены воздуховодные каналы, образованные кольцевыми канавками 9, которые соединены со штуцером 10 при помощи двух вертикальных отверстий 11 и одного магистрального отверстия 12, составляющих вакуум-проводную систему. Напротив канавок 9 в основании 1 выполнен ряд капиллярных отверстий 13, соединяющих3 112821вакуумную систему с предметной плоскостью. На торце корпуса 8 такжеимеются воздуховодные каналы, образованные канавками 14, которые припомощи двух пар вертикальных отверстий 15 н двух магистральных отверстий 16 соединены со штуцерами 17и 18, являющимися соответственно входом и выходом системы продува охлаждающим газом. 10На периферии основания 1 равномерно по окружности выполнены отверстия,в которых установлены винты 19. Головки винтов 19 опираются на основание 1,а средние части ввинчены в резьбовыеотверстия, равномерно расположенныепо окружности на уточненном краю корпуса 8, а резьбовые накбнечники винтов служат зацепами,для пружин 20,Пружины 20 изготовлены из проволокидиаметроМ, меньшим по сравнению сшагом резьбы винтов 19; благодаряэтому концы пружин фиксированно ложатся в резьбовые канавки винтов,Вторые концы пружин сходятся кцентру корпуса 8 и вставлены в отверстия кольца 21.Винты 19 сопрягаются с резьбовыми отверстиями корпуса 8 с зазоромна малой длине. Благодаря этому они,кроме поворота вокруг своей оси,могут качаться в пределах несколькихугловых градусов с центрами качания,расположенным в центре сопряжениявинтов 19 с отверстиями корпуса 8,Таким образом, винты 19 служат упру 35гими тягами, к которым в конечнойчасти резьбы прикладываютея упругиесилы, награвленные к центру корпуса 8; при этом цилиндрические частивинтов 19 в области их головок растягивают основание 1 равномерно поокружности к периферии.В пазу корпуса 8 размещен датчик22 температуры (в качестве датчикаиспользован транзистор КТ 815). Винт23 взаимодействует своим коническимнаконечником с отверстием датчика 22,поджимая его плоскость к основанию 1,Между датчиком и диском заложена50теплопроводная паста 24 (марки КПТ 8ГОСТ 19783-74 еКорпус 8 закреплен в стакане 25.Верхняя полость стакана обрамленатеплоизоляционным кольцом 26 и крышкой 27.55Работа с предметным столом осуществляется следующим образом,При наладке стола поворотом винтов 19 основание 1 равномерно совсех сторон поджимают к торцу корпуса 8 и благодаря еще и растягивающимусилием, прикладываемым упругими тягами к основанию, оно оказываетсясориентированным параллельно торцовой плоскости корпуса 8. При этомположение пружин по высоте не меняется, так как винты 19, поворачиваясь,ввинчиваются или вывинчиваются вкольцах, отогнутых у пружин в видезацепов. Далее при установке полупроводниковой пластины на стол и подключении вакуумной сети последовательно через штуцер 10 и отверстия 12,11, 13 нижняя плоскость полупроводниковой пластины прижимается к наружной поверхности 2 основания 1.А так как капиллярные отверстия 13,в этом случае закрыты и в полостяхканавок 9 создается разрежение, тооснование 1 плотнее прилегает к корпусу 8, тем самым точнее ориентируяполупроводниковую пластину по торцукорпуса 8.При подаче напряжения на шины 6и 7 через нагревательный элемент 3проходит ток, выделяя тепло. Благодаря малой толщине диэлектрика подложка 2 нагревается практически одновременно на ту же температуру, что ислой 3. Величину температуры регистрирует датчик 22, связанный с нагревательным элементом 3 при помощиусилительно-преобразовательного блока (не показан).Малая толщина основания 1 (0,25 мм)обуславливает быстрое нагревачие иохлаждение подложки 2. Однако в обычных условиях время охлаждения значительно больше времени нагрева, Дляускорения процесса охлаждения в полость канавок 14 через штуцер 17 подйот воздух, например, от маломощно"го вентилятора. Этого оказывается достаточным, чтобы в значительной степени скомпенсировать разность междувременем охлаждения и нагрева,Благодаря наличию воздуховодныхканалов, а также относительной тепловой изоляции рабочей полости с помощью кольца 26 и крышки 27, столможет использоваться для получениятемператур ниже комнатной. Для этогов стол через штуцер 17 продуваютохлажденный гаэ, от охлажденного осушенного воздуха до паров азота.