Устройство для литья пленки

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик(11 61482 3 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1) Д льное к авт, свил. 1.77 (21) 2 1 19 126/23-05 22) За я плен М, Кл.Я 05 С /02 В.ГО Э 7/02 нем заявки2440127/23-05 присоединен 3) Приоритет ратвенньй камитетв Мииистрав С.СР лвм нзааретенийи аткрьтий асуСавепа(43 1 5.0 летень Х. 2 ли исакия 06.06,78 45) Ла публикон 2) Авторы изобретен В, Код А, Пальчевски Львовский ордена Ленина полите кий инс) УТОй."ТВ ИТЪЯ ПЛЕНК литья, так как арядки резерву проц прерывностребует пер возмо лучае ороной и Недостатком втся то, что оно ности размеров ( пленки. Наиболее близ технической сушн зультату являетс пленки, содержаш вую воронку, со для жидкости и итройства являивает стабильполучаем ой данного не обес толпины иэ воронки 2. ния посл Изобретение относится к конструкции устройств для изготовления применяемых в электронных приборах эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т,п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности.Известно устройство для изготовления пленочных покрытий, содержащее воронку для жидкой пасты или расплава, установленную над подвижной технологической подложкой, на которую через шель в воронке поступает паста 1.11 . ким к изобретению по ости и достигаемому рея устройство для литья ее герметичную литьеобшаюшуюся с емкостью невмосистему для вытесОднако описанное выполнение устйства для литья пленки не обеспечивает ра литейной жидкостью,Подключение к резервуару системынепрерывной подачи жидкости не жно из-за происходящей в этом сразгерметизации устройства,Белью изобретения является обеспечение непрерывности процесса литья.Бель достигается тем, что пневмосистема соединена непосредственно с вкой, причем между литьевой воронкемкостью для жидкости смонтирован затвор-дозатор.Затвор-дозатор может быть выполненв виде крыльчатки или в виде двухстороннего перистальтического насоса, выполненного в виде связываюших резервуар своронкой отводяшего и подводящего эластичных трубопроводов, между которымиразмещен ротор, несущий на радиальныхпальцах нажимные ролики, причем выходной конец отводящего трубопровода расположен над верхним уровнем укидкостирезервуара,Нв фиг, 1 изображено устройство сзатвором-доэвтором, выполненным в виде крыльчатки; ца фиг, 2 - затвор-дозатор, выполненный в виде двухсторонцего периствльтяческ ого насоса.Устройство для литья пленки содержитстол 1 и приводной механизм 2 технологической подложки 3. Над столом 1 установлено литейное приспссобление, имеюшее корпус 4, разделенный массивной стенкой 5 на герметичную литьевую воронку 6,имеющую щель 7, и резервуар 8 для жидкой пасты, Резервуар 8 сообщается с воронкой 6 через выполненное в стенке 5отверстие 9,К воронке 6 через пвтрубок 10 подведена пневмосистема (на чертеже не показана), а к резервуару 8 подведена система подпитки 11,Б отверстие 9 встроен роторный затвор-доэатор, выполненный в виде крыльчатки 12 (см, фиг, 1). При этом рас.стояние между лопастями 13 крыльчаткименьше толщины стенки 5, что обеспечивает герметизацию воронки,Работает предлагаемое устройствоследующим образом.Наполняют резервуар 8 через систему подпитки 11 жидкостью, которую с30помощью лопастей 13 крыльчатки 12через отверстия в стенке 5 подвют.в воронку 6 Одновременно в воронку 6 черезпатрубок 10 подают воздух нз пневмосистемы. Под суммарным (гидростатическое +35воздушное) давлением вытеснения жидкость через щель 7 корпуса 4 подают надвижущуюся от привода 2 по столу 1 технологическую подложку 3, получая, таким40образом, пленку, Давление вытесненияявляется относительно постоянным, такквк с помощью крыльчатки поддерживаютпостоянный уровень жидкости в воронке,осуществляя непрерывную подпитку и од 45новременно отбор лопастями крыльчвткиизлишков жидкости в воронке. То есть,оба компонента (гидростатический и воздушный) суммарного давления вытеснения литейной жидкости являются постоян 50ными, что обеспечивает равномерное поступление литейной жидкости на подложкуи стабильность толщины получаемой пленки,Затвор-дозатор может быть выполнен55 в виде двухстороннего перистальтического насоса (см, фиг. 2), содержащего ротор 12, несущий на радиальных пальцах 13 нвжимные ролики 14, для которых мом, и размещенный между подводящим15 и отводящим 16 эластичными трубопроводами, соединенными с резервуаром8, При этом выходной конец отводящеготрубопровода расположен над верхнимуровнем жидкости резервуара 8,Работает устройство следующим об-.разом,Резервуар 8 наполняют жидкостью, которую с помощью подводящего трубопровода 15 и нвжимных роликов 14, приводимых во вращение ротором 12, подаютнепрерывно в воронку 6, Одновременнов воронку подают воздух из пневмосистемы и через отводящий трубопровод16 осуществляют отбор излишков жидкости из воронки 6,Под суммарным (гидростатическое+воздушное) давлением вытеснения жидкостьиз воронки поступает на движущуюсяпо столу 1 технологическую подложку 3и образует пленку. Давление вытесненияявляется относительно постоянным, таккак с помощью двухстороннего перистальтического насоса поддерживают постоянный уровень жидкости в воронке. Тоесть, оба компонента (гидростатическийи воздушный) суммарного давления вытеснения жидкости являются постоянными,что обеспечивает равномерное поступление жидкости на подложку и стабильностьтолщины получаемой пленки.Использование описанного устройства позволяет автоматизировать процесс изготовления высококачественной металлооргвнической пленки, применяемой в гибридных интегральных схемах, электронных вакуумных приборах и т. п,формула изобретения1. Устройство для литья пленки, содержащее герметичную литьевую воронку,сообщающрося с емкостью для жидкостии пневмосистему для вытеснения последней из воронки, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью обеспечения непрерывности процесса литья, пневмосистема соединена непосредственно с воронкой, причем между литьевой воронкой и емкостьюдля жидкости смонтирован затвор-дозатор.2, Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что затвор-дозатор выполнен в виде крыльчажи,3, Устройство по п. 1, о т л и ч а ющ е е с я тем, что затвор-дозатор выпол-,нен в виде двухстороннего перистальчм4, Устройство по п, 3, о т л и ч а к- щ е е с я тем, что перистальтический насос выполнен в виде связывающих резурвуар с воронкой отводящего и подводящего эластичных трубопроводов, между которыми размещен ротор, несущий на радиальных пальцах нажимные ролики,5. Устройство по пн. 3 и 4, о т л ич а ю щ е е с я тем, что выходной конец отводящего трубопровода расположен над верхним уровнем жидкости резервуара,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССРМ 451537, кл, 329 З 7/08, 1975,2. Патент США % 2974364,кл, 264-213, 1961.Составитель С, Леонтьеватко ТехрецА, Алатырев Корректор А. Лаки Т, Де Реда Заказ 3785/4 Тираж 905 Г 1 одлисн ое 1 П 1 ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР 303 по делам изобретен Москва, Ж, Рау и открытийкая наб., д, 4/5