Ионизационный манометр

Союз Советскии Социалистицеских Республикисоединением заявки М сударствеииыи камитеавета Иииистроа СССРпо делам иэооретеиийи открытий(32) Приори Опубликов ет 11.74. БюллетеньУДК 531,788, 7 (08,8.8)(72) Авторы изобретения П, Ши Котенев, В. И. Сухове Б 71) Заявитель изменизацитение относится к обла ехники, в частности к Изобре льной щего устройства, при этом выход и электрических имп билизатору тока э блокирующего уст соединен с усилите На фиг. 1 пред нометра; на фиг, токов в цепях ма а блок-схема магнало нометр сос манометрического держащего анод 2 стабилизатора ток го с катодом 3, б 6, подключенного ника управляющих точника управляюш со стабилизатором ства 6 ометри вторым входом устрИонизационный м разователь помещаю и на его электроды потенциалы (на аноддают положительный кий ную камеруеобходимыезователя пов одаются н 2 преобра потенциал итель ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ) ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕ онным манометрам.Известны ионизационные манометры, содержашие модулятор тока эмиссии катода, выполненный в виде дополнительного электрода. В таких манометрах о величине давлений судят по величине переменной составляюшей ионного тока коллектора.Однако при измерениях в условиях ва куумного испарения материалов дополнительный электрод ионизационного манометрического преобразователя может запыляться диэлектрическим материалом. В связи с этим изменяется закон модуляции изменя ется чувствительность преобразователя и понижается точность измерения давления.В предлагаемом ионизационном манометре, содержащем манометрический преобразователь, источник питания, стабилизатор 20 тока эмиссии, усилитель ионного тока и регистратор, модулятор тока эмиссии катода выполнен в виде источника управляющих электрических однополярных импульсов заданной длительности и частоты и блокирую связанного с коллектором сточника управляющих ульсов подключен к стамиссии и второму входу ройства, выход которого лем ионного тока,2 - графики си в инометра,оит из ионизационногопреобразователя 1, со, катод 3 и коллектор 4,а эмиссии 5, соединеннолокируюшего устройствак коллектору 4, и источимпульсов 7. Выход исих импульсов 7 соединентока эмиссии 5 и сойо катода 3, а на коллектор 4 - отрицательный потенциал). При разогревании нити катода 3 между анодом 2 и катодом 3 возникает ток эмиссии, который поочередно с заданной частотой стабилизируют на двух различных уровнях с помощью стабилизатора тока эмиссии 5 и управляющего сигнала, , поступающего от источника импульсов 7 Электроны тока эмиссии ионизируют атомы, находящиеся в пространстве ионизации анод 2, катод 3 и образовавшиеся ионы собираются коллектором 4. Сигнал с коллектора 4 через устройство 6, запускаемое с помощью управляющего сигнала, подаваемого от источника импульсов 7, поступает на вход усилителя ионного тока (на фиг, 1 не показан). По величине переменной составляющей этого сигнала судят о давлении в вакуумной камере. С помощью блокирующего устройства 6 автоматически блокируется сигнал коллектора 4 на время переходного процесса, связанного с тепловой инерцией нити катода 3 при переходе от одного уровня тока эмиссии к другому и наличием паразитной емкости катод 3 -коллектор 4,На графике (2 а 1 изображена форма управляюшего сигнала, поступаЮщего от источника импульсов 7 на стабилизатор 5 тока эмиссии катода 3 и на устройство 6. Ток эмиссии катода 3 меняется по закону, представленному на графике (2 б), Плавный переход с одного уровня тока эмиссии катода 3 на другой объясняется тепловой инерцией нити катода 3. На графике (2 в) изображен сигнал блокировки. На время,равное (- Е), при переходе токаэмиссии с одного уровня на другой сигналс коллектора 4 преобразователя 1 автоматически блокируют. На графике (2 г) пред ставлен сигнал, поступающий на вход усилителя ионного тока.Как видно из графика, управляющий сигнал позволяет одновременно переключатьток эмиссии катода 3 с одного уровня на 10 другой и блокировать сигнал, снимаемый сколлектора 4 на время переходного процесса. Предмет изобретения16Ионизационный манометр, содержащийионизационный манометрический преобразователь, состоящий из анода, катбда прямого канала и коллектора, источник питания, 20 стабилизатор тока эмиссии катода, усилитель ионного тока, связанный с регистратором,и модулятор тока эмиссии катода, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения в условиях ва куумного испарения материалов, в нем модулятор тока эмиссии катода выполнен в ви%е источника управляющих электрическихднополярных импульсов заданной длительности и частоты и блокирующего устройст ьа, связанного с коллектором, при этом выход источника управляющих электрическихоимпульсов подключен к стабилизатору токаэмиссии и второму входу блокирующего устройства, выход которого соединен с усилиЗб телем ионного тока.449267 праФл ий Ри О Составитель ОЛопов едактор О,Филиппова Техред Т.КУРилко Корректор Н.АГи раж Изд, М Б одписное: осударственного комитета Совета Министр по делам изобретений и открытий Москва, 113035, Раушская наб., 4/5 Предприятие П аказ /цниипи ент, Москва, Г.59, Бережковская наб 2