Устройство для электроннолучевой обработки материалов в вакууме

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ311432 Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 14.1 Х.1966 ( 1101827/26-25)с присоединением заявкиПриоритет МПК Н 05 Ь Ком итеобретен по делам и открытий тлинистров СР Опубликовано 09, 1 т Дата опубликован 1971 Бюллетень ь 24описания 6.Х.1971 УДК 621.384.6(088,8 ФЭ фщф-,Гц)О щ. т". 16 ЯЯЯБ."ИСуТЩД второбретени В. аявител спериментальныи научно-исследовательский металлорежущих станков тит СТРОЙСТВО ДЛЯ ЗЛ МАТЕРИТРОННОЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКОВ В ВАКУУМЕ этого, термокатод электроны отдел Изобретение относится к устройствам для электроннолучевой обработки материалов.Целью изобретения является улучшение технологии производства деталей с большим количеством отверстий малого диаметра (сит, решеток, охлаждающих рубашек и пр,) и увеличение производительности за счет того, что данное устройство позволяет проводить одновременно прошивку серии отверстий.На фиг. 1 изображена блок-схема описываемого устройства; на фиг. 2 - термокатод для эмиттирования 25 пучков электронов; на фиг, 3 - схема питания; на фиг. 4 - схема возбуждения импульсов.Устройство состоит из многолучевой электронной пушки, включающей в себя термокатод 1, фокусирующий электрод 2, анод 3 и изолируемую крепежную стойку 4, импульсного генератора б, координатного стола 6, обрабатываемой детали 7, вакуумной камеры 8, окна 9 и оптического устройства 10 для наблюдения за процессом,Термокатод выполнен в виде пластины 11 с щелями 12, наличие которых позволяет концентрировать токи на участках 13, эмиттирующих электроны. На чертеже тонкими линиями показаны пути токов, густота которых пропорциональна их плотности, В местах пересечения токов толщина пластины из-за полукруглой выемки см. фиг, 1) уменьшена и,л г сс - .х -ацп,м,вг.как следствие одновременно эмиттирует ьными малыми участками.Электроны, вылетевшие с термокатода, ус коряются и фокусируются в электростатическом поле электронной пушки и направляются на деталь. Регулированием напряжения на фокусирующем электроде фокусы пучков приолижаются к обрабатываемой поверхно сти детали и тем самым достигается необходимая для обработки плотность мощности,Перемещение обрабатываемой детали погоризонтали и вертикали осуществляется координатным столом 6 (см. фпг. 1).15 Электронная пушка питается знакопеременными импульсами, что позволяет уменьшить ионную бомбардировку электродов и увеличить срок их службы. Для исключения влияния на фокусировку магнитных полей, созда ваемых токами, нагревающими термокатод,этп токи пропускаются лишь тогда, когда на аноде электронной пушки отрицательное напряжение. Это достигается при помощи соответствующей схемы питания (см. фиг. 3), со гласно которой анод, фокусирующий электроди катод, присоединены к началу, отводу и концу первой вторичной обмотки 14 многообмоточного выходного трансформатора 15 импульсного генератора, а вторая и третья вто ричные обмотки 16 и 17 присоединены черИвентили 18 и 19 к взаимно перпендикулярным парам краев катода 20 таким образом, что линии взаимно перпендикулярных токов, создаваемых второй и третьей обмотками в эмиттирующих участках катода, проходят в полу- периоды нерабочей (отрицательной) полярности напряжения на первой вторичной обмотке.Знакопеременные импульсы возбуждаются при помощи тиратрона (вместо тир атрона можно использовать лампы или полупроводниковые приборы) 21 (см. фиг. 4), управляемого от задающего генератора 22. При открывании тиратрона заряженные через дроссели 23 - 2 б конденсаторы 27 - 30 разряжаются через выходной трансформатор 31 и возбуждают необходимые импульсы напряжения на электродах пушки 32, Обратная полуводна импульса главным образом используется через выпрямители 33 и 34 для нагрева катода 3 Б.Предмет изобретения1. Устройство для электроннолучевой обработки материалов в вакууме, содержащее анод, фокусирующий электрод и катод, отличающееся тем, что, с целью создания дискретных пучков электронов, пластинчатый катод выполнен с повышенным нагревом в ряде уча стков, расположенных против совп адающихотверстий фокусирующего электрода и анода. 2. Устройство по п, 1, отличающееся тем,что, с целью повышения стабильности процес са обработки и улучшения фокусировки пучков, анод, фокусирующий электрод и катод присоединены к началу, отводу и концу одной вторичной обмотки многообмоточного выходного трансформатора импульсного генератора, 15 а вторая и третья вторичные обмотки черезвентили присоединены к взаимно перпендикулярным парам краев катода таким образом, что линии взаимно перпендикулярных токов, создаваемых второй и третьей обмотками 20 в эмиттирующих участках катода, проходятв полупериоды нерабочей (отрицательной) полярности напряжения на первой вторичной обмотке.оставитель Е. Шульгинехред Л. В. Куклина аказ 2681/9 Изд.1125НИИПИ Комитета по делам изобретенийМосква, Ж, Рау Тираж 473 Подписное открытий при Совете Минисгров СССРкая наб., д, 4/5 ипография, лр. Сапунова едактор Т. Загребельна рректор Е. Н, Мироно