Электродуговой испаритель металлов

19) Щ 1Я) 1) 2 ОО 2853 С ЗОБР ПАТЕНТУ О/ ование: при нанесении покрытии в ва- та ущественно на изделия больших пло- О ущность изобретения: катод электроду- д рителя выполнен в виде полос соеди им основанием. На конце каждой поКомитет Российской Федераци о патентам и товарным знака ОПИСАН(21) 493190 (22) 29.049 (46) 15.119 Э (73) Научноватех" (54) ЭЛЕКТ ТАЛЛ ОВ (57) Исполь кууме преим щадей С гового исоаненных общ Бюй ЬЬ 41-42производственное предприятие "Но РОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЪ МЕлосы катода и на его основании расположен индивидуальный токоподвод подключенный, к соответствующему ключу, Все ключи соединены с блоком управления переключением ключей, к которому так же подсоединены датчики положения катодного пятна (ДПКП), ДПКП выполнены в виде протяженных электропроводных элементов, которые усновлены над поверхностью испарения катода дин из ДПКП расположен вдоль основания като- а, а другой - вдоль свободных концов его полос50 55 Изобретение относится к технике вакуумной металлизации и может быть использовано для получения металлическихпокрытий преимущественно на изделияхбольших площадей,Известен электродуговой испаритель,содержащий катод из испаряемого материала с токоподводами, подсоединенными к, управляемым ключам, которые соединены сблоком управления переключением ключей,подсоединенным так же к двум датчикамположения катодного пятна, расположенным в зонах токоподводов,В этом испарителе катодное пятно дугисканирует по поверхности протяженногокатода в сторону включенного токоподвода.При достижении катодным пятном конца катода датчики крайнего положения катодного пятна с помощью ключа в цепитокоподвода переключают токоподвод и катодное пятно движется в противоположномнаправлении, Таким образом, осуществляется непрерывное возвратно-поступательное движение катодного пятна вдоль осинезамкнутого катода, Для нанесению покрытий на большие площади с соизмеримымипоперечными размерами необходимо перемещать изделие относительно катода, чтоусложняет конструкцию устройсгва,Целью изобретения является повышение качества обработки поверхностей иэделий, протяженных по двум координатам.Поставленная цель достигается тем, чтов известном электродуговом испарителе металлов, содержащем катод из испаряемогоматериала с токоподводами, подсоединенными к управляемым ключам, соединеннымс блоком управления переключением ключей. который подсоединен также к двум датчикам положения катодного пятна,расположенным в зонах токоподводов согласно изобретения, катод выполнен в видеполос, соединенных общим основанием, наконце каждой полосы и на основании катодарасположен индивидуальный токоподвод;соединенный с соответствующим управляемым ключом, датчики положения катодногопятна выполнены в виде протяженных электропроводных элементов, установленныхнад поверхностью испарения катода. причем один из них расположен вдоль основания катода, а другой - вдоль свободныхконцов его полос.На фиг. 1 представлена конструктивнаясхема электродугового испарителя; на фиг.2 - вид на испаритель в плане,На фиг. 1 в вакуумной камере 1, котораяодновременно является анодом расположен прямоугольный катод 2, состоящий изполос 3-9, соединенных общим основанием. На концах полос со стороны катода, противоположной его поверхности испарения,установлены индивидуальные токоподводы10-16. Каждый токоподвод подсоединен к5 соответствующему ключу 17-23, через который соединен с отрицательным полюсом источника 24 электропитания. Надповерхностью испарения катода 2 вдольконцов полос 3,-9 установлен датчик .2510 крайнего положения катодного пятна в видепротяженного злектропроводного элемента; который является общим для всех полоскатода 2. Вывод датчика 25 выведен наружувакуумной камеры 1 и подсоединен к элект 15 ронному блоку 26 управления переключением ключей по заданной программе,Изолированный кран 27 (корытообразный)ограничивает поверхность испарения катода 2,20 На фиг, 2 показан еще один аналогичный датчик 28 крайнего положения катодного пятна, выполненный в видепротяженного электропроводного элементаи установленный над поверхностью испаре 25 ния катода 2 вдоль его общего основания,имеющего индивидуальный токоподвод 29 ккоторому подсоединен собственный ключ30. Датчик 28 и ключ 30 также подсоединены .как блоку 26 управления переключением30 ключей.Работает электродуговой испарительметаллов следующим образом.С помощью поджигающего устройства(на чертежах не показано), установленного35 на крайней полосе 3 катода 2 возбуждают на-катоде 2 катодное пятно, Блок 26 управления переключением ключей включает ключЗО. в цепи токоподвода 29 к общему основанию катода 2. Катодное пятно под воздейст 40 вием магнитного поля тока, текущего пополосе 3, движется к общему основаниюкатода 2. Когда катодное пятно достигнетоснования катода 2, в цепи датчика 28 возникает электрический импульс, Датчик 28,45 подсоединенный к блоку 26 управления,включает ключ 18 в цепи токоподвода 11 икатодное пятно начинает двигаться по полосе 4 в сторону токоподвода 11, Когда катодное пятно достигнет края полосы 4, в цепи датчика 25 появляется электрический импульс. который через блок 26 управления воздействует на ключ 30 в цепи основания катода 2. Катодное пятно начинает двигаться к основанию катода 2.Так блок 26 управления обеспечивает последовательное включение ключей 17-23 всех полос 3-9, в результате чего катодное пятно перемещается по всему катоду. Поскольку по полосам катода протекает токи одного направления и при этом в соседних2002853 полосах токи отсутствуют, то движение катодного пятна по полосам катода стабильное.Размеры катода могут быть как угодно велики, при этом катодное пятно перемещаФормула изобретения ЭЛЕ КТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛОВ, содержащий катод из испаряемого материала с токоподводами, подсоединенными к управляемым ключам, соединенным с блоком управления переключением ключей, подсоединенным к двум датчикам положения катодного пятна, расположенным в зонах токопадводов, отличающийся тем. что, с целью повышения качества обработки поверхности изделий, протяженных по двум координатам, катод выполнен в виде полос, соединенных ется по полосам катода, обеспечивая обработку всей поверхности изделия, протяженного по двум координатам,(56) Авторское свидетельство СССР 5 М 461163, кл, С 23 С 14/32, 1975. общим основанием, при этом на конце каждой полосы и основании катода расположен индивидуальный токоподвод, соединенный с соответствующим управляемым ключом, датчики положения катодного пятна выполнены в виде протяженных электропроводных элементов, установленных 155 над поверхностью испарения катода, причем один протяженный электропроводный элемент расположен вдоль основания катода, а другой - вдоль свободных концов его полос.2002853 Составитель С. ГригорьевТехред М. Моргентал Корректор С, Юско акт Тираж Подписн НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 каэ 3 изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10