196176

Сава Свввтоиил Сацивливтичвоиил Раоиублииависимое от авт, свидетельствааявлецо 01.17,1966 (,ле 1068041/26-25присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 16,Ю 96. Бюллетень отвитвт иа лолой ивобрвтвинЯ и отирыти лри Соввтв ввиниотроа СССРДата опубликования описания 1.И 1,196 вторыобретения, В. Хомутовский, М, Н. МокеС, А. Шкаредны аявител АВТОМА ЛОМКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ стины и рабочих органов от загрязнения. Он имеет шлюзы для приемки ц выдачи пластин ц кристаллов ц окна для оператора. Оптическая головка 4 служит для установки надрезанной пластины в рабочие органы и для визуального контроля качества ломки. Привод,э передаст двцжецие от электродвигателя к рабочим органам автомата. Механизм продольцоц ломки осущсствляст отламывацие одной 10 секции кристаллов и автоматическую подачуцластпцы после этого ца олин шаг. Механизм поперечной ломки разламывает секцию на от.дельные кристаллы,Пластину б с цацесенными рисками цоме щают в подающую призму 7 и совмещают поодной из рисок с визирной линией микроскопа 8, после чего зажимают прижимом 9. Прц помощи маховика 10 и пары конических ше- .стерен подающую призму отводят в крайнее 20 полокецис, в котором с визирной линиейсовмещается последняя риска. При перемещении рейки 11 от кулачка распределитель ного вала 12, реечная шестерня 13 поворачи.вает ломающий рычаг 14, который отламы 25 вает одну продольную секцию 1 б кристаллов.На оси ломающего рычага свободно сидит прижимной рычаг 1 б, связанный с упором и пружиной, регулирующей усилие прижатия.При обратном ходе ломающего и прижимного ЗО рычагов с помощью винтовой пары 17 и 13 Известна установка для автоматическогоразламывацця пластин ца кристаллы послескрайбировапия, в которой разламываццпроизводится между бескоце шымц ремнямии воздушной подушкой, При этом пластина,наклеенная ца лист бумаги, пропускается чс.рез установку дважды для ломки в дву:взаимно перпецдикуляршлх направлениях.Предложенный автомат позволяет ломатьпластины одцовремеццо в обоих направленияхбез применения клеевого носителя.Для этого механизм продольной ломки выполнен в виде призмы с прижимным ц ломающим рычагами и двух роликов, причем орцен.тация секции кристаллов относительно ломающих роликов производится Ч-образцымцгубками, установленными перед механизмомпродольной ломки.На фиг. 1 изображен общий вид предла.гаемого автомата; на фнг. 2 - кинематиче.ская схема; ца фиг. 3 - схема устройства дляломки.На столе 1 расположена базовая плита 2,на которой укреплен скафандр 3, оптическаяголовка 4, привод б и механизмы продольнойи поперечцой ломки. Внутри стола располо.жено электрооборудование и система отсосапыли,Скафандназначен д р 3 из органического стекла пред ля защиты полупроводниковой пла МьЮЯ 9/о3и храпового механизма 19, 20 производится подача пластины на один шаг следующей секциикристаллов. Шаг подачи регулируют перемещением упора 21,Секция кристаллов захватывается движущимся ремнем 22 и, проходя Ъ-образные губки 23, ориентируется перпендикулярно оси ло. мающих роликов 24 и 25, На выходе из губок секция кристаллов зажимается ремнем 26, который движется с той же скоростью, что н ремень 22. Ремень 2 б, огибая ремень 22 по радиусу, задаваемому роликом 24, разламЬ- вает секцию на отдельные кристаллы, причем ролик 25 создает угол скола. Усилие поперечной ломки регулируется пружиной 27 и гру зом 28, Величина угла скола зависит от толщины и длины отламываемого кристалла и колеблется от 15 до 90.Фильера 29 создает дополнительную жесткость секции кристаллов прп отламыван каждого кристалла.Ремни приводятся в движение роликами 30 и 31, которые вращаются от распределитель 196176ного вала 12. Вал 12 приводится через одно- оборотную муфту 32 от электродвигателя 33.Применение однооборотной муфты позволяет, совершать как единичный (контрольные) про 5 цесс ломки пластин, так н автоматическиповторяемые, Муфта управляется рукояткой 34.Предмет изобретения10Автомат для ломки полупроводниковыхпластин на кристаллы, состоящий из стола, базовой плиты, привода и механизмов продольной ц поперечной ломки, отличающийся 15 тем, что, с целью одновременной ломки пластин в двух взаимно перпендикулярных направлениях без применения клеевого носителя, механизм продольной ломки выполнен в виде призмы с прижимным и ломающим рычагами 20 и двух роликов, причем ориентация секциикристаллов относительно ломающих роликов производится 7.образными губкамн, установ.ле нымн перед механизмом продольной ломкиаж одписн Редактор Н. О. Гроаказ Составнпен, В. М Тетред Т. П. Гришинурн. Вко орректоры: О. Б. Тюрина и Н. И. БыстроваНИИПИ Комитета по делам изобретений и открыти при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова д. 4Предприятие Патент", Москва Г, Бережковская наб., 24