Электронно-лучевое устройство

(5)5 ГОСУДАРСТВЕН ВЕДОМСТВО ССС (ГОСПАТЕНТ СССР ЕНТН ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ ТЕНТ ь, ГмбХ (ОЕ)Вольфганг Боп 351, кл и Шестаков В,Г. ков заряженных с.7 - 9, с.103-105. ОЕ УСТРОЙСТонно-лучевое усдля формированияэнным поперечзобретения: уст(21) 3495254/21(72 Зигфрид Байсвенгер ипель (ОЕ)(57) Использование: электртройство предназначеноэлектронного пучка с задным размером. Сущность и Изобретение относится к высокостабильному источнику излучения заряженных частиц с подогревным катодом, вспомогательным электродом и анодом со сквозным отверстием.В основе настоящего изобретения лежит задача создания высокостабильной электронной пушки, в которой луч, стабилен по исходному размеру, углу раствора и току.Для решения этой задачи на обратной, по отношению к катоду, стороне вспомогательного электрода предусмотрена окружающая луч соединенная с измерительным резистором измерительная диафрагма, с помощью которой может диафрагмироваться часть пучка, на которую воздействует вспомогательный электрод, причем измерительный резистор в качестве датчика действительных значений соединен с подключенным к опорному напряжению регулятором, а выход регуройство содержит электронную пушку, включающую катод, управляющий электрод, анод и датчик поперечного размера пучка, а также схему питания и регулировки размеров пучка. Датчик выполнен в виде кольцевой диафрагмы, охватывающей пучок, сигнал с датчика сравнивается с опорным, а разностный сигнал через схему регулировки воздействует на блок питания управляющего электрода, что обеспечивает стабильность заданного размера пучка. С целью повышения стабильности анод с датчиком обьединены в единый протяженный вдоль оси электрод в виде цилиндра Фарадея, что исключает влияние отраженных и вторичных электронов на работу устройства. 2 ил. лятора для стабилизации диафрагмируемого посредством диафрагмы пучка соединен с вспомогательным электродом, В зависи- .мости от расположения измерительной диафрагмы может быть благоприятным соединение измерительной диафрагмы с потенциалом, ко- Ы торый отличается от нулевого потенциала СЗ электронной пушки. Предпочтительный вари- в ант изобретения заключается в том, что диаф- (Я рагма выполнена в виде клетки Фарадея. ф Другое предпочтительное выполнение изобретения заключается в том, что анод пушки выполнен в виде измерительной диафраг- фф мы.На фиг.1 показано размещение электродов электронной пушки; на фиг.2 - принципиальная схема выполнения устройства.На фиг.1 изображена принципиальная конструкция электронной пушки, а именно подогревный катод К, вспомогательныйэлектрод Я и измерительная диафрагма М, которая окружает выходящий из поверхности катода электронный луч Е. Измерительная диафрагма М соединена через измерительный резистор ВМ с постоянным потенциалом, например, потенциалом массы, и выполнена таким образом, что улавливает часть пучка, которая больше отверстия В диафрагмы. Для поддержания постоянной эффективности этой диафрагмы, пространство перед диафрагмой в направлении катода выполнено в виде клетки ГК Фарадея, В электронной пушке измерительная диафрагма может быть анодом или анод, в направлении луча, может быть размещен перед или за измерительной диафрагмой, Если пучок сфокусирован так, что он имеет размер, который изображен граничными лучами Е 1 и Е, то он может без помех проходить через отверстие В диафрагмы, Если пучок более веерообразный, как это изображено граничными лучами Ез и Е 4, то он наталкивается на внутреннюю стенку измерительной диафрагмы М и через измерительный резистор Вм к опорному потенциалу течет ток,При этом предпочтительно чтобы измерительная диафрагма М была соединена с потенциалом, который отличается от нулевого потенциала электронной пушки,Практика показывает, что из-за термических дрейфов, прежде всего в фазе разгона, изменяется расстояние между катодом и анодом. При твердо отрегулированном напряжении на вспомогательном электроде И, также называемым цилиндр Венельта, изменяется геометрия пучка и из-за этого при отсутствии измерительной диафрагмы М и предусмотренного согласно изобретению регулятора происходит изменение интенсивности пучка.На фиг,2 изобрахена схема, в которой появляющийся в измерительном резисторе Вм ток, вызывающий на измерительном резисторе йм падение фактического напряжения О, подается в регулятор Р напряжения, . который в свою очередь соединен с опорным напряжением Огег Выход регулятора соединен с регулирующей схемой 5, которая подает к вспомогательному электроду ЧЧрегулирующее напряжение, обеспечивающее стабильное напряжение на измерительном резисторе йм. Опорное напряжение5 служит в регулирующей схеме в качествефиксированного базового напряжения, с которым сравнивают регулируемое напряжение и определяют отклонение регулируемойвеличины, Это является нормальной функ"0 цией контура регулирования. Нв измерительном сопротивлении гм имеется 01 З 1(действующее в качестве меры анодного тока, так как в соответствии с законом Оманапряжение на сопротивлении пропорцио 15 нально току Регулятор "В" сравнивает Оз сОгег (действующее с опорным) и определяетотклонение Оы от Огег и передает его далеена исполнительный элемент Я. Исполнительный элемент затем в зависимости от20 отклонения регулирует напряжение на. вспомогательном электроде ЧЧ.Формула изобретенияЭлектронно-лучевое устройство, содержащее электронную пушку, включающую25 соосно последовательно установленныевдоль оси подогревной катод, вспомогательный управляющий электрод, анод сосквозным центральным отверстием дляпрохождения пучка и измерительный дат-.З 0 чик в виде охватывающей пучок кольцевойдиафрагмы, а также измерительный резистор, блоки электропитания катода и вспомогательного электрода и регулятор блокапитания вспомогательного электрода, приЗ 5 чем измерительная диафрагма соединена спервым выводом измерительного резистора, второй вывод которого заземлен, первый вывод резистора соединен с входомрегулятора, выход регулятора соединен с"0 управляющим входом блока питаниявспомогательного электрода. а выход последнего соединен с вспомогательнымэлектродом,отличающееся тем, что,с целью повышения стабильности попереч 45 нога размера пучка, анод и измерительнаядиафрагма объединены в единый электрод,выполненный в аиде цилиндра Фарадея сцентральным отверстием для прохожденияпучка, 18301541830154 оставитель С. Доценкоехред М,Моргентал Шагова Редактор р Г. ос НТ СС Производственно-издательский комбинат "Патент", г., ул,Гагарина, 101 3 2493 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям пр113035, Москва, Ж, Раущская нэб., 4/5