Система автоматического управления вакуумной установкой

%918577, кл, Е 04 Е 9/04, 605 1751447 А 2 (54) СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛ ЕНИЯ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВ КОЙ (57) Использование: защита вакуумной камеры от загрязнения парами рабочей жидкости, а также повышение надежности испытаний, Сущность изобретения: система содержит входной 2 и выходной 3 управляемые вентили диффузионного насоса 4, датчик 6, связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили. Датчик 6 размещен в откачиваемом обьеме вблизи ходного вентиля 2 и снабжен охлаждаемым Узеркалом 8, рассеивающей линзой 12, тройниковым световодом 13, сравнительным фотокатодом 14, световодом 15 отраженного света, рабочим фотокатодом 16. При этом охлаждаемое зеркало 8 жестко связано с испарительной частью тепловой трубы 17 с регулируемой проводимостью теплового поока, конденсационная часть которой размещена вне вакуумного объема, 1 э,п.флы, 1 ил.Изобретение относися к вакуумной Недостаток указанной системы автоматехнике, в частности к системам автомати- тического управления - невысокая надежческогоуправлениявакуумнымиустановка- ность, обусловленная наличием трехотдельных каналов контроля режима рабоИзвестны устройство для защиты ваку ты диффузионного насоса подавлению, расумной камеры от паров рабочей жидкости ходу воды и электропитанию,вакуумного насоса и запорный клапан, Это Наиболее близкой к изобретению являустройство содержит эапорный клапан, ус- ется система автоматического управлениятановленный на вакуум-проводе, подсоеди- вакуумной установкой, содержащая входненный к входу насоса и вакуумной камере, 10 ной и выходной управляемые вентили дифи подключенный к приводам клапана и на- фуэион ого насоса с нагревателем исоса датчик давления; атакжедатчикдавле- размещенный на Форвакуумном трубопрония, подключенный к приводам клапана и воде датчик давления, связанный с регистнасоса, Устройство позволяе снизить экс- рирующей, сигнализирующей и команднойплуатационные затраты, а также повысить 15 аппаратурой, воздействующей на вентили,надежность испытаний. причем датчик давления выполнен радиоСднако устройство осуществляет конт- метрическим и установлен в зоне нагреватерольрежимаработыустановкилишьподав- ля диффузионного насоса и снабженлению и учитывает изменение расхода обоймой с прорезями и приемником инфохлаждающей воды и электропитания толь О ракрасного излучения, связанным с команкоопосредованно,черездавление. Зтотне- дной аппаратурой воздействия на входнойдостаток не дает возможности определять вентиль, Контроль режима работы установмиграцию парос рабочей жидкости в отка- ки по давлению, расходу охлаждающей вочиваемыйобъец,атакжепрогноэироватьее ды и электропитанию осуществляется поизменение с целью отсечения объема от на одному каналу, что в целом повышает насоса при экстремальном режиме, который дежность системы управления,ля-/характеризуется повышенной миграцией,. Недостатками известнои системы являрабочей жидкости в периоды увеличения ютсянизкиеэффективностьиточностьрегунатекания в вакуумный объем (натекание лирования вакуумных параметров, так какизвне, а также с поверхностей, размещен О системой измеряется не обратный поток раныхввакуумномобъеме). Повышение вели- бочей жидкости, а косвенная величина -чины натекания приводит к росту давления удельный поток к рабочей жидкости и к ее(ниже предельно допустимого уровня), что парам,ведет к снижению длины свободного пробе- Цель изобретения - защита вакуумнойга молекул масла. В результате зффектив камеры от загрязнения парами рабочейность работы ловушки ухудшаемся и пары жидкостииповышениенадежностииспытарабочей жидкости могут свободно прони- ний, а также повышение эффективности ракать в откачиваемый рбъем и конденсиро- боты системы.ваться на поверхностях испытуемого Сущность изобретения заключается визделия, Последнее может привести к по О защите вакуумной камеры от загрязненияпарами рабочей жидкости и повышении наИэвестна также система автоматиче- дежностииспытанийпутемведенияконтроскогоуправлениявакуумнойустановкойсо- ля эа величинойконцентрации паровдержащая входной и выходной рабочей жидкости на входе в откачиваемыйуправляемые вентили диффузионного насо объем,са с нагревателем и размещенный на фор- Поставленная цель достигаешься тем, чтовакуумном трубопроводе датчик давления, в системе автоматического управления васвязанный с регистрирующей, сигналиэиру- куумной установкой, содержащей входной иющей и команрной аппаратурой воэдейст- выходной управляемые вентили диффузивия на вентили, 5 О онного насоса с нагревателем и регистрирующий датчик, связанный с сигнализирующей и командной аппаратурой воздействияна вентили, регистрирующий датчик выполнен оптикоэлектронным и состоит из охлаждаемого зеркала, которое размещено в 5откачиваемом объеме и его поверхность обращена в сторону входного вентиля, соответствующим образом сориентированнымии размещенными последовательно источником света, рассеивающей линзой, тройниковым световодом, сравнительнымфотокатодом, световодом отраженного света, рабочим фотокатодом, при этом охлаждаемое зеркало жестко связано сиспарительной частью тепловой трубы с регулируемой проводимостью теплового потока, конденсационная часть которойразмещена вне вакуумного объема.На чертеже изображена система автоматического управления вакуумной установкой.Система автоматического управлениявакуумной установкой содержит вакуумнуюкамеру 1, входной и выходной управляемые "вакуумные вентили 2 и 3 диффузионного 25насоса 4 с нагревателем 5 и размещенный.в откачиваемом объеме вблизи входноговентиля 2 датчик 6 величины концентрациипаров рабочей жидкости, выполненный оп-.тикоэлектронным и связанный с регистрирующей, сигнализирующей и команднойаппаратурой 7 воздействия на вентили 2 и3. Датчик снабжен охлаждаемым зеркалом8, соответствующим образом сориентированными, т,е. с совпадением оптических 35осей, и размещенными последовательно источником 9 света, рассеивающей линзой 10,ультрафиолетовым цветофильтром 11, собирающей линзой 12, тройниковым световодом 13, сравнительным фотокатодом 14, 40световодом 15 отраженного света, рабочимфотокатодом 16. Зеркало 8 жестко связанос испарительной;встык тепловой трубы 17,с регулируемой проводимостью тепловогопотока, конденсационная часть которой 45размещена вне вакуумного объема. Междусравнительным фотокатодом 14 и торцом;тройникового световода 13 расположенарегулировочная игла 18,Система работает следующим образом. 50При установившемся нормальном режиме работы вакуумной установки свет отисточника 9 падает на рассеивающую линзу:.10. При этом источник 9 света находится вфокусе рассеивающей линзы 10. Из линзы 5510 выходит параллельный пучок лучей света, который проходит через цветофильтр 11,Через цветофильтр 11 проходит только уль-:трафиолетовая составляющая света, далее,световой лучок проходи через собираю-. 1 щую линзу 12 и узконаправленный пучок света в фокусе входит в тройниковый световод 13. При этом часть света направляется к сравнительному элементу 14, а часть - к охлаждаемому зеркалу 8. При этом зерало 8 начинает охлаждаться только после создания в вакуумной камере 1 давления, соответствующего начальному рабочему давлению пароструйного насоса 4, При отсутствии росы на зеркале 8 рабочий фотокагод 16 не засвечивается. При выпадении на зеркало росы пучок лучей рассеивается и, попадая на торец световода 15 отраженного света, передается к рабочему фотокатоду 16, Происходит разбаланс электронной схемы. В результате регистрирующая, сигнализирующая и командная аппаратура 7 выдает сигналы на закрытие вентилей 2 и 3, После отсечения вакуумной камеры от откачной системы производят очистку поверхности зеркала. Для этого прекращают съем тепла от поверхности зеркала и подводят тепловой поток через тепловую трубу к зеркалу, В результате происходит испарение конденсата в вакуум и Очистка поверхности зеркала от паров рабочей жидкости, сконденсировавшихся на нем, После устранения аварийного режима откачки система готова к работе. Сравнительный фотокатод 14 необходим для возможности задания пороговой величины паров рабочей жидкости в вакуумный объем. Для компенсации возможного начального светового потока рабочего фотокатода 16 при отсутствии росы на зеркале 8 при помощи регулировочной иглы 18 подбирается световой поток на сравнительный фотокатод 16,Таким образом, контроль режима работы установки по величине концентрации паров рабочей жидкости позволяет защитить вакуумную камеру от загрязнения парами рабочей жидкости и повысить надежность испытаний,Формула изобретения 1. Система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и регистрирующий датчик, связанный с сигнализируащей и командной аппаратурой воздействия на вентили, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью защиты вакуумной камеры пт загрязнения парами рабочей жидкости и повышения надежности испытаний, регистрирующий датчик выполнен оптикоэлектронным и состоит из охлаждаемого зеркала, которое размещено в откачиваемом объеме, а его поверхность обращена в сторону входного вентиля, и из соответствующим образом сориентированных и размещенных1751447 Составитель А. Гусев Техред М.Моргентал Редактор А.Огар Корректор М,Демчик Заказ 2677 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственноо комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб 4/5 Производственно-издательский комбинатПатент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 последовательно источника света рассеивающей линзы, тройникового световода, сравнительного фотокатода, световода отраженного света, рабочего фотокатода,2. Система по п.1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эффективности в работе системы, охлаждаемое зеркало жестко связано с испарительной частью тепловой трубы с регулируемой проводимостью теплового потока, конденсационная 5 часть которой размещена вне вакуумногообъема.