Способ неразрушающего контроля

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН И 9) 01 В 9/021 Г 5 ГОСУ АРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО И БРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ ПРИ НТ СССР А 78 5/242,881.90. БГомоюн 46219 21) 22) 46) елью изобретен очности и дост 3Картамышев юл. Рв, М.Г счет учета влиян( Оптические альных микроективы соверинтегр и перс М.: Ра е и связь енс 982 ания.61-62. остранстве тирующих в уют их инт интенсивно н 4) 7) УБ 1 АМЖ ПОСОБ НЕРА зобретение -измерител спользован отноной нсивностьтей в роль быть дл йо еделяют волируемого чения, 1 чину разц кач ест онт ов интеграл т эталонного зн рис снабженный подвижной шторкой 4, акже размещенные в оптическом педнике 5 опорные голограммы 6-8, итудные фильтры 9-11, призму 12 ркалами, бипризму 13, линзу 14, приемники 15 и 16, электрические налы с которых подаются на делико р ехо ампл а тва с зе фото Рыфразршабл г к блок 3 выполнен в виде ей п оп ер еч ное сечение гольной трапеции, нижняя обращена к коллиматору являясь блоком 18 ввослужит для установки испытываемых образцов. а наклонную боковую нанесен отражатель 19 т но ыхвный е еже прив й способ ен, процесс еразрушающ свяЯ,ессор содержиисточник 1 кокоплиматор 2,оптичес для фор записи. мирования опорнои волны при нтерференционной картины от анн рентногоптический е к пара опти Н реал конт ПСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 ЕГО КОНТРОЛЯ сится к контехнике и мож неразрушающе ошаблонов и х микросхем. бретение относится к областильно-измерительной техники,ности к области контроля кач ементов электронной аппаратуможет быть использовано для нающего контроля качества фотоов и кристаллов интегральных хем.ь изобретения - повышениеи достоверности контроляета влияния неконтропируетров, искажающих информатский сигнал,параметров, искаоптический сигналмативный оптичесставляющий собойта световую волнканала, в каждом опорная голограм транспаранты. По осуществляется и усреднение резул ле чего регистрир и по соотношению обоих каналах опр отклонения контр тель 17,Оптический призмы, имеющ в виде прямоу грань которой 2, а верхняя, да информации эталонных или Кроме того, н грань призмы является повышени ерности контроля за я неконтролируемых ающих информативныйДля этого инфорий сигнал, пред- отраженную от объекнаправляют в два из которых имеется а и амплитудные ле их прохождения3 160эталонного образца, Призма 12 содержит отражатель 20, подающий параллель.но обрабатываемые во втором каналеоптические сигналы для их суммирования на обладающее односторонней прозрачндстью зеркало 21.Способ осуществляется следующимобразом,Устанавливают в блок 18 ввода информации эталонный объект.При открытой шторке 4 производятзапись картииы, полученной при интерференции плоской опорной волны 22,отраженной от отражателя 1.9 и рассеянной эталонным образцом, которыйустановлен в блоке 18 ввода информации, волной 23,Синтезируют опорные голограммы6-8, описываемые, соответственносоотношением здпф(х, у; % =%о Е )созФ(х, у,Э =%О;Г) и модулирующие траспаранты 9-11, обладающиесоответственно, пропусканием3+Ьх У) = Я Р (хв Уэс )/:ЪОУЬ (х,у), У (х, У, Ъ Е ) /-%,;Ь,(х,у) -д 9(х,Уэ % эЕ)И ЪДгде У (х,у, 4 = Ф,; Е ) - пространственное распределениееразности фаэопорной ипредметнойволн в плос 8493 4 5 10 15 20 25 30 35 40 45 0 ЬЪ Р(х,у)- х сигнанствамбработки кости дляслучая, когдаиспытываетсяэталонный образец;- значениеоконтролируе"мого параметра для эталонного образца,с - вектор неконтролируемыхпараметров.Такой синтез может быть осуществлен, например, при помощи ЭВМ с последующим переносом информации на фотопленку, как это делается в цифровой голографии.После этого устанавливают контролируемый объект вместо эталонного в блок 18 ввода информации, а шторку4 закрывают так, чтобы устранить4попадание плоской волны 22 на отражатель 19, предотвращая этим возникновение в каналах обработки процессора неинформативных сигналов, затрудняющих контроль,Сигнал от источника 1 когерентного излучения формируется коллиматором 2 в плоскую волну 22, котораярассеивается в блоке 18 ввода информации контролируемым объектом с образованием информативного сигналаР(х,у) в плоскости опорных голограмм6-8. Рассеянные волны 23 восстанавливают голограммы 6-8, что соответствует умножению информативного сигнала Р(х У) на функции з 3.п 9(х,у 9 == %,; Е ) и со зф (х,у, ф = Ъо , Е. )в каналах обработки процессора. Дифрагированные на голограммах 6-8волны модулируют траспарантами 9-11,что соответствует умножению сигналовна функции Ъ(х,у), Ь(х,у), Ьэ(х,у).Во втором канале после модуляциитранспарантами 10 и 11 волны посредством отражателя 20 и зеркала 21,размещенного в призме 12, сводятсяв один пучок и интерферируют, образуя результирующий сигнал второгоканала обработки. Линза 14 выполняетоперацию пространственного усреднения сигналов в каналах обработки инаправляет их на разнесенные.в пространстве фотоприемники 15 и 16.Для разделения усредненных сигналовканалов обработки в плоскости фотоприемников предназначена бипризма 13.Фотоприемники 15 и 16 преобразуютоптические сигналы в электрическиеи направляют их в делитель 17, который формирует на выходе электрический сигнал, пропорциональный оценкемаксимального правдоподобия, т. е.величине отклонения контролируемогопараметра испытываемого образца отэталонного значения: где, 1 Я(х,у;= ,интенсивности результирующнлов, усредненных по прострпервого и второго каналовсоответственно:1608493 Формуле аЩФны по закону Р(х,уд;Е) Я=%О ва 5где интенсивности результирующий волн 15 20оставитель В.Бахтинехред М,Ходанич Корректор Т.Палий Редактор Е.Папп Заказ 3609 Тираж 491 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раущская наб;, д. 4/5 роиэводственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул, Гагарина,10 первом канале и одновременно по закоуР (х, у; Я; Е ) / = ЪО иЭ 2р - Ф (Х,У УЕ ) /Я:ЯД ВО ВТОРОМаканале, складывают промодулированные волны во втором канале, усредняют по пространственным координатам волны в первом и втором каналах и регистрируют интенсивность результирующих волн, а в качестве параметра, по которому судят о соответствии контролируемого образца эталонному, используют величины интенсивностей результирующих сигналов, по которым рассчитывают величину 64 отклонения контролируемого образца от эталонного по пространственноераспределение разности Фаз опорнойи предметной волндля случая эталонного образца,значение контролируемого параметрадля эталонного образца;вектор неконтролируемых параметров.