Способ измерения шероховатости поверхности

)5 С О 1 Э 11/3 ОПИСАНИ ЕТЕН А ВТОРСКСМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ кал ь ной саста вляющей контролируемой к эталонной поверхности соответственно методом, обеспечивающим минимальные погрешности, вносимые диффузионной составляющей, а также исключения влияния оптических свойств материала на результаты измерений путем выравнивания полных интенсивностей дифрак" ционных спектров контролируемой и эталонной поверхностей, а среднеквадратичную высоту микронеровностей опре деляют по формуле. Далее дополнительно осуществляют коррекцию значений интенси вности дифракционного пространственно-частотного спектра по зна" чениям интенсивности Фоновой засветки. Для исключения влияния различий коэффициентов отражения эталонной и контролируемой поверхностей, кото" рые возникают из-за различий опти" ческих свойств материалов, из которых изготовлены эти поверхности, осу- Е ществляют выравнивание полных интен" .стей дифракционных спектров конруемой и эталонной поверхностей,(21) 4 (22) О(4 б) 2 (71) К тут им социал (72) В и Г.С. (53) 5 (56) А й 8154(57) Изобретение рительной технике пользовано для ко сти поверхности и ке. Цель изобретеинФормативности и измерения за счет рения не только ностей, но и в сл поверхности,за сч ношения коэффицие тносится к измеи может быть ис"троля шероховатои металлообработия - расширениеповышение точностивоэможности измеверхгладких поверх"чае шероховатойт определения от"тов ослабления эерсивно троли 2 э.п ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 386139/25-281.03.883.01.90. Бюл. М 3иевский политехнический инсти50-летия Великой Октябрьскоистической революцииА. Остафьев, С,П. СахноТымчик31715. 2(088.8)вторское свидетельство СССР92, .кл. С 01 В 11/30, 1981. 54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИОВЕРХНОСТИ Изобретение относится к измерительной технике, в частности к опти" ческим методам измерения шероховатой поверхности, и может быть использовано для измерения шероховатости поверхности при металлообработке.Цель изобретения - расширение инФормативности и повышение точности измерения за счет возможности измерения шероховатости не только сверх" гладких поверхностей, но и в,случае ЯО 1538047 А 1 шероховатой поверхности за счет опре"деления отношения коэффициентов ослабления зеркальной составляющейконтролируемой и эталонной поверхностей, соответственно методом, обес"печивающим минимальные погрешности,вносимые, диффузной составляющей,а также исключения влияния оптичес"ких свойств материала на результатыизмерений путем выравнивания полныхинтенсивностей дифракционных спек1538047 5под углом 6 пучком когерентного монохроматического излучения, регист" рируют интенсивность излучения, отраженного от поверхности, и определяют среднеквадратицеское отклонение высот неровностей, о т л и ц а ю" щ и й с я тем, что, с целью расшире" ния информативности и повышения точности измерения, Формируют пространственно-частотный дифракционный спектр . контролируемой поверхности, регистрируют знацения его интенсивности Щ) в направлении, перпендикулярном плоскости падения пучка, определяют отношение а коэффициентов ослабления интенсивности зеркальной составляющей дифра кционного спектра контролируемой и эталонной поверхностей из выражениядя 1,10(,;1-,щ,.ЩД 1:1 1;фЩ2:Й,-(Х ы,( /и где Я " количество точек регистра"ции;25 У, - значения интенсивности диФракционного спектра эта" 6лонной зеркальной поверхно, сти; - положения точек регистрацииинтенсивности спектра, а величину среднего квадратического отклонения высот неровностей контролируемой поверхности определяют по формулеБ = Б, 1 па/(4 Ксов 6) где 6,- среднее квадратическое отклонение высот неровностей эталонной поверхности; К:27/лу И= 3 141592,Ь - длина волны излучения. 12. Способпоп. 1, отли чаащ и й с я тем, что определяют интенсивность Фоновой засветки и с ее учетом корректируют интенсивность дифракционного спектра. 3. Способ попп. 1 и 2, о тли"ч а ю щ и й с я тем, цто выравниваютполные интенсивности дифракционныхспектров контролируемой и эталоннойповерхностей.1538047 ова Составитель Л, ЛобзБугренкова Техред И.дидик Корректор М. Шаров Реда кт ГКНТ ССС оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагар Заказ 1 НИИПИ Г 3 Тираж 483сударственного комитета по113035, Москва, ИПодпи с но еобретениям и открытия Раушская наб., д. 4/5